판매용 중고 MATTSON Suprema IM #9242047

MATTSON Suprema IM은 정확하고 정확한 박막 처리를 가능하게 하는 향상된 기능으로, 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 우수한 화학 에칭 기술과 우수하고 정확한 플라즈마 에치 공정을 결합합니다. 이것은 전기 화학 (electrrochemistry) 을 혁신적으로 사용하여 각 프로세스 단계의 속도와 기간을 정확하게 제어함으로써 달성됩니다. 슈프림마 IM (Suprema IM) 의 견고하고 안정적인 에칭 및 애싱 성능은 여러 개의 박막 및 포토 마스크 처리 및 장치 제작 응용 프로그램에 유용한 도구입니다. "플라즈마 에치 '와 화학 에칭 공정 의 독특 한 조합 을 사용 함 으로써, 이 장치 는" 실리콘 웨이퍼', 석영, "사파이어 '및 유리 를 포함 한 광범위 한 재료 에" 포토마스크' 와 같은 여러 가지 형태 의 필름 을 만들 수 있다. 이 머신은 또한 사용자에게 다양한 재료와 대상 두께 (target thickness) 에 대한 다양한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 레시피를 제공합니다. MATTSON Suprema IM의 다른 기능으로는 에치 및 애싱 속도, 균일성 및 초고도의 반복성에 대한 정밀 제어가 있습니다. 또한, 이 도구의 온보드 고급 전자 장치는 정확하고 재현 가능한 에치 프로파일을 보장합니다. 표준화 된 프로세스 레시피는 반복 가능한 결과를 위해 일관된 데이터를 제공합니다. 첨단 기술과 높은 에칭 및 애싱 성능을 갖춘 Suprema IM은 씬 필름 (Thin Film) 및 포토 마스크 처리 어플리케이션을위한 귀중한 도구입니다. 이 자산은 두께가 미리 결정된 장치를 안정적으로 만들 수 있으며, 세로 (vertical) 능선 또는 기타 기능이 있는 장치를 생성할 수도 있습니다. 또한 이 장치는 비싸고 복잡한 장비에 투자할 필요 없이 하이엔드 (High-End) 씬 필름 성능을 원하는 사용자에게 적합한 제품입니다.