판매용 중고 MATTSON Suprema IM #9241281

MATTSON Suprema IM은 최대 200mm 기판 처리를 위해 설계된 자동화된 플라즈마 기반 습식 에칭 및 애싱 장비입니다. 반도체, 박막 및 MEMS 장치 제작 및 실리콘, GaAs, polyimide 및 기타 식각 기판에 이상적입니다. 다용도 플랫폼 (versatile platform) 은 기판 크기가 최대 200mm 인 단일 도구에서 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 기능을 제공합니다. Suprema IM은 고순도 가스 전달, 정확한 플라즈마 제어 및 고급 프로세스 작동을 위해 온도 조절 (temperate control) 을 포함하는 고급 에칭 시스템입니다. 코낙 (Conac) ™ 전도성 에칭 퍼스트 화학을 활용하고 실리콘 기반 기질과 같은 다양한 물질을 금속 및 유전체 재료 (모두 단일 도구) 로 처리합니다. MATTSON Suprema IM의 에칭 (etching) 기능은 저온 작동을 제공하여 오염을 최소화하고 기판 품질을 유지하면서 다중 에치 단계를 허용합니다. Eprema IM은 에칭 외에도 플라즈마 기반 애싱 프로세스를 갖추고 있습니다. 단일 공정에서 높은 수준의 재 선택성을 생성하는 제어 휘발성 플라즈마 재 (controlled-volatility plasma ash) 공정을 제공합니다. 이 과정은 원격 플라즈마 또는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 를 사용하여 유전체 잔기 필름의 저온 재 제거를 제공합니다. 이 단위의 산성 화학 물질 (acidic chemistry) 은 가공 물질에 비해 더 높은 수준의 청결을 제공합니다. MATTSON Suprema IM은 종합적인 턴키 (turn-key) 패키지로 구성할 수 있으며, 각 프로세싱 챔버에 대한 다양한 사용자 설정을 통해 최적의 반복성을 제공합니다. 또한 사용자는 프로세스 레시피, 데이터 시스템 연결, 원격 시스템 액세스 등 다양한 기능을 제어 할 수있는 Windows/Mac 기반 사용자 인터페이스를 제공합니다. 데이터베이스 기능을 활용하여, 사용자는 레시피를 저장하고, 리콜할 수 있으며, 더 빠른 프로세스 실행을 위해 매개 변수 설정을 저장할 수 있습니다. 효과적인 유지 관리 및 문제 해결을 위해 Suprema IM은 예측 유지 관리 플랫폼 (Predictive Maintenance Platform) 을 제공합니다. 이 플랫폼은 시스템을 모니터링하고 사용자에게 문제 또는 잠재적 문제를 경고하는 통합 플랫폼입니다. 이 도구는 또한 운영자 (operator) 가 작동 중 유해 물질에 노출되는 것을 줄이는 높은 수준의 안전 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 MATTSON Suprema IM은 반도체, 박막 및 MEMS 장치 제작에서 광범위한 응용 분야에 적합한 고급 다용도 습식 에칭 및 애싱 도구입니다. 구성 기능이 뛰어난 사용자 플랫폼, 자동화된 데이터베이스, 유지 보수 예측, 고급 안전 (Safety) 기능을 통해 생산성 및 생산성 향상을 실현할 수 있습니다.