판매용 중고 MATTSON Suprema IM #9241280

MATTSON Suprema IM은 고급 반도체 생산 환경을 위한 고급 프로세스 유연성과 비용 효율성을 제공하도록 설계된 ETO (Engineer-to-Order) Dry Etcher/Asher 장비입니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 개발, 고성능 장치 (HPS) 를 위한 확장 도구 기능, 고객의 요구 사항에 대한 고급 통합/소프트웨어 지원을 위한 포괄적인 플랫폼을 제공합니다. Suprema IM 장치는 고유 플라즈마 소스를 사용하여 성능 안정성과 효율성 수준을 향상시킵니다. 이 소스는 조절 가능한 전력 제어 및 가스 대기 (gas atmace) 의 더 나은 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 혈장 공급원은 또한 재료 표면에 대한 강한 화학 흡착 패턴을 제공합니다. 이 기계에는 더 나은 정밀도를 위해 광범위한 온도 조절 기능을 갖춘 트리플 존 (triple-zone) 흐름 제어가 포함되어 있습니다. 공구에는 고정밀 프로세스 창도 있습니다. 이 창은 프로세스 제어 및 반복 (repeatability) 을 정확하게 보장하여, 애플리케이션의 생산량을 높일 수 있게 해 줍니다. 이 자산에는 프로세스 및 데이터 수집의 컴퓨터 제어 조항도 있습니다. 이를 통해 고객은 필름 두께의 프로세스 단계, 재료 이동, 감지/분석을 모니터링할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도 MATTSON Suprema IM 모델은 안정성이 높고 현장 서비스가 가능하도록 설계되었습니다. 장비에는 전원 공급 장치, 전원 제어 (Power Control), 통신 (Communication) 과 같은 이중 부품이 장착되어 있어 장애 발생 시 쉽게 교체할 수 있습니다. 또한, 시스템 내 유익한 유지 관리 (Maintenance) 및 품질 보증 (Quality Assurance) 프로세스를 통해 시스템 구성요소의 최고 품질과 성능을 보장할 수 있습니다. 이 툴에는 고객이 최고의 프로세스 성능을 달성할 수 있도록 지원하는 내장형 소프트웨어 툴도 포함되어 있습니다 (영문). 여기에는 MATTSON 독점 프로세스 제어 소프트웨어와 고객이 제공하는 소프트웨어가 포함됩니다. 이 소프트웨어를 통해 고객은 자신의 프로세스 레시피를 사용자 정의할 수 있으며, 데이터 검토, 분석, 프로세스 제어를 위한 다양한 유틸리티를 제공합니다. 슈프림마 IM (Suprema IM) 은 프로세스 유연성과 비용 효율성을 제공하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수 있는 etcher/asher 자산입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능은 고객이 애플리케이션에서 최고의 성능을 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 또한 유지 보수 기능과 소프트웨어 툴 (Software Tools) 을 통해 고객의 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.