판매용 중고 MATTSON Paradigm #9222745

MATTSON Paradigm은 전자 산업의 마이크로 칩 및 기타 부품 제작에 사용되는 정교하고 신뢰성이 높은 애셔 (또는 에처) 입니다. 복잡한 전자 부품의 대용량 생산을 위해 설계되었으며, 프로세스 제어를 위한 자동화된 멀티 챔버 (multi-chamber) 장비를 갖추고 있습니다. 패러다임은 여러 개의 상호 연결된 챔버로 구성됩니다. EMD (에칭 챔버) 는 1 차 챔버이며 원하는 마이크로 칩 패턴을 달성하기 위해 8 방향 이동이 가능한 2 개의 정밀 스핀들이 특징입니다. ARC (arcing room) 는 두 번째 챔버이며 박막 증착을위한 고정밀 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 마지막으로 LE (레이저 조각 챔버) 는 칩 패턴 설계 중에 높은 해상도와 정확도를 달성하도록 설계되었습니다. 또한 MATTSON Paradigm (MATTSON Paradigm) 은 에칭 작업을 정확하게 제어하기 위해 사용자가 편집 가능한 설정을 가진 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 에칭 매개변수는 최적의 효율성과 정확성을 위해 연산자에 의해 더 세밀하게 조정됩니다. 이 장치를 사용하면 여러 레시피를 저장하고 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 여러 개의 작업이 하나의 머신에서 실행되고 다양한 재료를 동시에 처리할 수 있습니다. 최고 수준의 정확성과 정확성을 보장하기 위해 Paradigm 은 고급 시스템 진단 (Advanced Machine Diagnostics) 을 사용합니다. 여기에는 에칭 챔버 온도 및 압력, 스핀들 위치, 레이저 빔 파워, 패턴 방향 및 남은 포토 esist 양에 대한 지속적인 모니터링이 포함됩니다. 이러한 매개변수는 또한 각 작업과 함께 저장되며, 칩 패턴 정확도와 항복을 최대화하기 위해 재조정됩니다. 매트 슨 (MATTSON) 은 또한 에칭 챔버 온도를 보호하고 에칭 필름의 균일성을 촉진하기위한 독특한 열 소크 도구를 제공합니다. 이것은 에칭 챔버의 수명을 연장하고 더 높은 처리량을 허용합니다. 전반적으로 MATTSON Paradigm은 복잡한 구성 요소 설계의 대용량 생산에 이상적인 솔루션입니다. 이 기능은 빠르고 정확한 칩 에칭을위한 이동 (go-to) 자산으로 구분됩니다. 자동화된 멀티 챔버 (multi-chamber) 모델은 최적의 프로세스 제어를 보장하며, 고급 진단 장비는 최고 수준의 정확성과 정확성을 보장하므로, 정확한 마이크로칩 에칭이 필요한 모든 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.