판매용 중고 MATTSON Paradigm SI #9236729

MATTSON Paradigm SI
제조사
MATTSON
모델
Paradigm SI
ID: 9236729
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
PR Asher systems, 12" 2011 vintage.
MATTSON Paradigm SI는 다양한 산업 및 연구 응용 분야에 사용되는 etcher/asher입니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 세밀하게 제어할 수 있는 다양한 프로세스 제어 기술을 제공합니다. 레이저 빔을 사용하여 에칭/애싱 프로세스, 프로세스 제어를 용이하게하는 마이크로 프로세서 기반 컨트롤러, 고속 샘플링 장비를 사용하여 공정 정보 (예: 온도, 압력, 전류) 를 추적합니다. 이 기술은 주로 리드, 비아, 트랙 및 메모리 장치의 정밀 패턴화를 위해 반도체 및 MEMS 산업에서 사용됩니다. 패러다임 SI는 금속, 실리콘, 플라스틱과 같은 다양한 에칭 및 애싱 재료를 지원할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 마스킹 (Masking) 및 감속 제어 (Deceleration Control) 와 같은 여러 가지 고급 옵션을 제공합니다. MATTSON Paradigm SI는 방향 에칭 및 어닐링과 같은 고급 에칭 및 애싱 기술을 사용합니다. 이러한 기술은 고화질 패턴화와 보다 일관성 있고 안정적인 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 방향성 에칭 (directional etching) 과 어닐링 (annealing) 은 특정 위치에 레이저 빔을 집중시키고 동시에 기판을 가열함으로써 기판에 에칭/애싱 물질의 양을 제어하는 것을 포함한다. 이것은 일관된 에치 깊이와 균일 한 에칭 특성을 보장합니다. 이 장치는 또한 3 차원 에칭 챔버를 사용합니다. 이 방은 일반 에칭 (eching) 기술을 사용하여 달성 할 수없는 길고 복잡한 모양을 처리 할 수 있습니다. 3D 에칭 챔버 (3D etching chamber) 는 또한 에칭 패턴의 치수 균일성을 유지하는 데 도움이되므로 치수 정확도를 추가합니다. 이 기계는 또한 프로그래밍 된 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 프로그래밍 모드에서 Paradigm SI는 미리 정의된 명령 세트를 기반으로 에치 (etch) 및 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 컴포넌트의 정교하고 빠른 라우팅, 특정 패턴의 정확한 에칭 (etching) 이 가능합니다. 또한 프로그래머가 프로세스를 중단하지 않고 실시간으로 에칭 프로세스를 수정할 수있는 '변형 (variation)' 기능을 제공합니다. 전반적으로 MATTSON Paradigm SI는 고급 프로세스 제어 기능, 정밀 에칭/애싱 (eching/ashing) 및 안정성이 높고 일관된 자산을 제공하는 강력한 에칭 및 애싱 도구입니다. 이 제품은 다양한 산업과 연구 분야에서 사용할 수 있으며, 세밀한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 위한 안정적이고 비용 효율적인 선택입니다.
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