판매용 중고 MATTSON Aspen III #9095966

MATTSON Aspen III
제조사
MATTSON
모델
Aspen III
ID: 9095966
CVD system, 8", 1999 vintage.
MATTSON Aspen III 에칭/애싱 장비는 반응성 가스의 고온, 고압 혼합물을 사용하여 완벽하게 정확한 에칭 및 애스허링을 형성하는 고급 정확도 에칭/애싱 시스템입니다. 아스펜 III (Aspen III) 는 샘플에 줄 지어 초고온 및 압력 마이크로 환경을 형성하는 3 개의 가열 및 가압 반응 가스 인젝터를 사용합니다. 고온 과 압력 이 혼합 되어 반응 을 보이자, 화학 물질 은 "시료 '를 식각 하는 촉매 반응 을 이룬다. 표본의 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 은 고급 프로세스 모니터링 장치 (advanced process monitoring unit) 로 인해 정확하게 제어되고 세밀하게 조정 될 수 있습니다. 내장형 소프트웨어는 프로세스의 온도, 압력, 기타 지표를 모니터링하여 정확성과 품질을 보장합니다. 기계는 또한 샘플을 쉽게 정렬 할 수있는 5 축 이동 플랫폼과 정확한 샘플 및 기판 위치 정렬을위한 레이저 연결 포트 (Laser Connection Port) 를 제공합니다. 고급 정확도 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 의 조합과 MATTSON Aspen III의 정확한 모니터링 도구를 사용하여 재료와 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 결과는 최소한의 폐기물과 수확량을 가진 고품질의 제어 프로세스입니다. Aspen III는 사용자에게 에칭 및 애싱 프로세스를 절대적으로 제어합니다. 이 자산은 미세하고 복잡한 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스에 적합하며, 다양한 산업에 적합합니다.
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