판매용 중고 MATTSON Aspen II #9353913

MATTSON Aspen II는 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수있는 고정밀 스캐너, etcher 및 asher입니다. 다양한 구성 옵션 (Configuration Option) 이 있으며, 최소 재료와 시간으로 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 아스펜 II (Aspen II) 는 유리, 세라믹, 스테인리스 스틸, 구리 및 알루미늄과 같은 다양한 기질에서 에칭, 습식 가공 및 애싱 작업을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 통합된 X-Y 스캔 헤드를 사용하면 두께와 크기가 다양한 제품에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 신속하게 수행할 수 있습니다. MATTSON 아스펜 II (Aspen II) 는 높은 해상도와 넓은 시야를 가지고 있으며, 이미지 형성의 확장성과 유연성을 제공합니다. 통합 piezo-positioning, 대규모 드라이브 기능, 컴퓨터화된 단계 프로세스 및 더 넓은 정밀도와 같은 기능은 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다. Aspen II는 사용자 정의 가능한 기능을 통해 연속, 고속 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. MATTSON Aspen II는 터치 스크린 인터페이스를 갖춘 사용자 친화적 인 시스템으로, 사용자 정의 가능하고 효율적인 운영 환경을 제공합니다. Aspen II는 정밀 공정 챔버, 자동 웨이퍼 척 및 웨이퍼 클램핑 장비, 고급 모터 컨트롤 및 완전 자동 측정 시스템을 통합합니다. 그것의 통합 공정 챔버 (integrated process chamber) 는 다양한 기판과 재료에서 에칭과 애쉬 (ashing) 를 할 수 있습니다. 이 챔버에는 압력 및 온도 모니터링, 가스 라인 격리, 연속 흐름 시스템 및 산소 퍼지 장치 (oxygen purge unit) 와 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. MATTSON Aspen II는 또한 빠른 스캔 헤드를 제공하여 빠르고 정확한 프로세스 단계를 허용합니다. 반응성이 높은 X-Y 스캔 헤드 (X-Y scan head) 와 조절 가능한 스텝 사이즈는 크고 작은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업 모두에 적합한 선택입니다. Aspen II는 또한 조정 가능한 초점, 자동 초점 기계 및 자동 데이터 캡처의 통합, 4 축 스캔 헤드를 통합합니다. MATTSON Aspen II는 매우 정밀하고 대용량 생산에 적합하며, 사용자 친화적 인 프로그래밍을 통해 고급 프로세스 모니터링 및 제어 시스템을 제공합니다. 통합 소프트웨어를 사용하면 워크로드 및 프로세스 매개변수를 자동으로 조정할 수 있으므로 정확성과 다용성을 보장할 수 있습니다. 저전력 소비와 장기간 내구성 때문에 많은 도전적인 산업/연구 응용프로그램을 위한 이상적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비가 됩니다.