판매용 중고 MATTSON Aspen II #9246107
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판매
ID: 9246107
웨이퍼 크기: 8"
ICP Asher, 8"
Dual chamber system
Upgraded gas panel
Quartz ware
Chamber side and back:
Front end:
26" With separate operator interface
4-Color light tower
TFT Design monitor
Load locks:
Single L/L
(2) Cassette stations
Capability of queuing lots
Load lock seal: Lip seal (Non bellow)
Platform: 4 x 25 Slot cassette
Rotating cassette nests, 8"
Cool down station without circular groove pattern
Transfer robot:
Main robot: MATTSON 3-Axis robot
Robot arm: 4-Adjustable paddles standard
Slit door
Process module configuration:
Electrode configuration: Electrical heater with backing plate
Tube type: Quartz tube
Standard process window
ICP Chamber O-Ring type: Fluorosilicone
Temperature controller: WATLOW EZ Zone
Grids / Guide rings: Extended guide rings
Pressure controller:
VAT Valve Pressure controller
Chamber manometer: 10 Torr
Load lock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
RF/ MW System:
RF System: Top RF, 13.56 MHz
RF Generators
RF Top match: TRAZER 914-92003-00 (TRAZAR AMU 10D-2)
Gas system:
Chamber peripherals and gas line option: (4) Gas configuration back and side chambers
Gas 1: O2 - 5000 sccm
Gas 2: CF4 - 100 sccm
Gas 3: N2 - 1000 sccm
Gas 4: N2/H2 (4%) - 1000 sccm
MFC 1 to 4: BROOKS GF Series
Endpoint detection system: MATTSON Endpoint system with fixed filters
Cable length RF / Signal / Power: 19ft.
MATTSON Aspen II는 정밀 에칭/애싱 기능을 제공하도록 설계된 다기능 에처/애셔 시스템입니다. 아스펜 II (Aspen II) 는 일련의 고급 기능을 제공하여 다양한 정밀 에칭/애싱 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. MATTSON Aspen II의 주요 기능으로는 내구성과 일관된 성능, 최대 0.1 um의 단색 해상도, 풀 컬러 터치스크린 인터페이스로 프로세스 제어, 프로세스 구성 및 레시피 저장을 위한 다양한 온보드 메모리 옵션 (On Board Memory Option) 이 있습니다. 결과적으로 신뢰성이 높고 사용자 친화적 인 에처/애셔가 생성됩니다. 아스펜 II (Aspen II) 는 사용 편의성을 위해 설계되었으며, 정확하고 반복 가능한 성능을 보장하기 위해 여러 기능이 장착되어 있습니다. 매우 민감한 Z축 높이 감지 접촉으로, 에칭 된 부품의 끝이 기판에 균등하고 정확하게 접촉합니다. 결과적으로 안정성이 뛰어나고 일관되게 반복 가능한 에치 품질이 뛰어납니다. 또한, 에칭 표면 높이의 변화를 감지 할 수있는 "표면 추적 (surface tracking)" 기술이 적용되어 MATTSON Aspen II가 에칭 또는 애싱 깊이를 자동으로 조정할 수 있습니다. 이로 인해 항상 일관성 있고 심지어 결과가 발생합니다. 아스펜 II (Aspen II) 에는 금속 부품을 에칭 할 때 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 다양한 구성 요소가 장착되어 있습니다. 여기에는 통합 된 9 위치 자동 인덱싱 도구 체인저, 기판의 자동 정렬, 선택적 음운화 레시피, 기판 모서리 검출을위한 다중 접촉 스토퍼 및 프로세스 제어를 위한 화면 매개 변수가 포함됩니다. 이 모든 기능 은 사용 된 금속 에 관계 없이, 매번 균일 하고 정확 한 마무리 를 유지 한다. MATTSON Aspen II는 자동 프로세스에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 안정성이 높고 유지 관리가 낮은 5000V/4000W DC (DC) 소스는 반복 가능하고 안정적인 성능을 보장하며, 거의 모든 자동화된 프로세스에 통합될 수 있습니다. 또한, 프로세스 제어 및 모니터링을 보다 효율적이고, 정확하며, 반복 가능하도록 설계된 다양한 독점 소프트웨어/펌웨어가 제공됩니다. Aspen II는 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 사용하기 쉬운 etcher/asher 솔루션을 원하는 사람에게 이상적인 솔루션입니다. 첨단 기능과 안정성이 높고 일관성 있는 성능으로 다양한 정밀 에칭/애싱 (etching/ashing) 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 매트슨 아스펜 II (MATTSON Aspen II) 의 다양한 소프트웨어 및 하드웨어 기반 기능은 매번 지속적으로 우수한 에칭 (etching) 결과를 보장하며, 견고한 구축/자동화 프로세스 제어 기능을 통해 신뢰할 수 있는 결과와 운영 단순화를 원하는 업계 사용자에게 이상적인 솔루션이 됩니다.
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