판매용 중고 MATTSON Aspen II #9230723

MATTSON Aspen II
제조사
MATTSON
모델
Aspen II
ID: 9230723
웨이퍼 크기: 8"
ICP System, 8" Wafer type: Silicon Chamber type: Rear chamber: ICP Chamber Cool chamber Mainframe options: Cassette nest: SMIF Cassette nest Operator interface: Operator interface, 18" with SMIF Paddle selection: Adjustable paddle Panel / Skin color: White Sub-frame: Tall frame Light tower: Pole mount, (4) colors Wafer sensors: Cassettes & paddle sensors standard silicon Paddle O-rings: KALREZ Slotted groove slit door type without regulators Loadlock manometer: 100 Torr Shuttle manometer: 1000 Torr Hinged cooldown chamber Cooling chamber skin Remote operator interface panel Rapid cassette exchange System skins for sub-frame & AGV: Standard skins for TALL sub-frames with EMO No wafer mapping No secondary interface PCB SMIF Option PCB Part: V VERSA COM +4 No robot safety enclosure SECS / GEM-1 Interface: VERSA COM +4 Gas panel type: Top of short frame Cabinet with door Gas panel facilities: Bottom gas feed with CDA regulator Mainframe exhaust options: Ceiling exhaust flange for external hookup & ductwork Vacuum fitting connections: KF50 Vacuum connections standard Shrouded locking EMO type EMO Button guard ring Panel interlock options: Mechanical interlock switch Chamber configurations: Temperature control: Watlow temperature control panel standard ACX 1201 Pressure control with ext PS No MATTSON endpoint system MFC Type: MFC on Core MFC Cal gas: N2 Gas delivery options: Gas 1 / 10000 / O2 Gas 2 / 200 / CF4 Gas 3 / 5000 / N2 RF Components: RF Match: TRAZAR AMU10-D2 (2) RF Generator racks: ENI / RFPP / ADTEC class B generators Generator type: ENI OEM12B Power supply: 208 V, Single phase Cable length: 60" RF Cables with cesar 1312 gens MFC With core chamber Installed: Heater jackets on isolation valve, throttle valve & foreline HEPA Mini-environment with blower & ULPA filter Bracket sensor lift pin (Up / Down), 062-00017-00 Bracket sensor side slit door (Bottom / Upper), 053-00018-00 & 053-00011-00 Pneumatic manifold (4) stations: 2-4 Ports (Middle) 3-8 Ports (Lower) Regulators, 0-150 PSI With gauge for slit doors & lift pins up / Down Power supply: Line frequency: 50/60 Hz Line voltage: 200/208 VAC, 3 Phase, 60 Amp, (5) Conductors AC Power: Mainframe AC box, 208 V, Single phase CE Marked.
MATTSON Aspen II는 고급 프로세스 통합을 위해 특별히 설계된 에칭 및 애싱 프로세스 도구입니다. 프로세스 유연성과 처리량이 높아 연구, 개발, 장치 제조 (Manufacturing) 애플리케이션에 적합합니다. 아스펜 II (Aspen II) 에는 quenching, evaporation 및 etch 모듈을 포함하여 정렬에 쉽게 통합되는 다양한 고유 한 프로세스 모듈이 있습니다. 소광 모듈은 고주파 펄스 (High Frequency Pulsing) 에 의해 제어되므로 프로세스 매개변수에 대한 정밀 제어가 가능합니다. 증발 모듈은 물질의 증발 증착에 높은 속도, 에너지 효율, RF 난방 소스를 사용합니다. 에치 모듈에는 직류 에칭 및 애싱 (ashing) 을위한 무료 DC 로딩 장비와 고속 프리 에치 (pre-etch) 프로그램 및 부드러운 사후 처리를 위한 옵션 DC 로딩 장비가 있습니다. MATTSON Aspen II는 다양한 구성 및 온도 범위로 설계되었습니다. Gas Source Injection System ™ 은 다양한 교정, 균일 한 프로세스를 통해 가스를 제공 할 수 있습니다. 통합 된 다중 이온화 진공 장치는 다양한 프로세스 단계에서 깨끗하고 저압 환경을 만듭니다. 모든 챔버는 액세스 가능하고, 교환이 가능하므로 프로세스 유연성과 높은 처리량을 보장합니다. Aspen II 의 직관적인 제어판 (Control Panel) 은 전체 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있도록 설계되었으며, 손쉬운 데이터 수집 및 보고 기능을 제공합니다. MATTSON 소프트웨어 패키지는 다양한 프로세스에 대한 맞춤형 데이터 및 레시피 관리 기능도 제공합니다. 고급 터치스크린 인터페이스를 통해 머신 탐색이 쉽고, 초보자도 쉽게 액세스할 수 있습니다. MATTSON Aspen II는 통합된 고급 프로세스 통합을 위한 완벽한 솔루션입니다. 높은 처리량, 프로세스 유연성, 간편한 데이터 및 레시피 관리, 간편한 액세스 및 다양한 구성, 즉 '운영/연구 애플리케이션' 에 이상적인 툴입니다.
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