판매용 중고 MATTSON Aspen II #9230723
URL이 복사되었습니다!
ID: 9230723
웨이퍼 크기: 8"
ICP System, 8"
Wafer type: Silicon
Chamber type:
Rear chamber: ICP Chamber
Cool chamber
Mainframe options:
Cassette nest: SMIF Cassette nest
Operator interface: Operator interface, 18" with SMIF
Paddle selection: Adjustable paddle
Panel / Skin color: White
Sub-frame: Tall frame
Light tower: Pole mount, (4) colors
Wafer sensors: Cassettes & paddle sensors standard silicon
Paddle O-rings: KALREZ
Slotted groove slit door type without regulators
Loadlock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
Hinged cooldown chamber
Cooling chamber skin
Remote operator interface panel
Rapid cassette exchange
System skins for sub-frame & AGV: Standard skins for TALL sub-frames with EMO
No wafer mapping
No secondary interface PCB
SMIF Option
PCB Part: V VERSA COM +4
No robot safety enclosure
SECS / GEM-1 Interface: VERSA COM +4
Gas panel type:
Top of short frame
Cabinet with door
Gas panel facilities: Bottom gas feed with CDA regulator
Mainframe exhaust options: Ceiling exhaust flange for external hookup & ductwork
Vacuum fitting connections: KF50 Vacuum connections standard
Shrouded locking EMO type
EMO Button guard ring
Panel interlock options: Mechanical interlock switch
Chamber configurations:
Temperature control: Watlow temperature control panel standard
ACX 1201 Pressure control with ext PS
No MATTSON endpoint system
MFC Type: MFC on Core
MFC Cal gas: N2
Gas delivery options:
Gas 1 / 10000 / O2
Gas 2 / 200 / CF4
Gas 3 / 5000 / N2
RF Components:
RF Match: TRAZAR AMU10-D2
(2) RF Generator racks: ENI / RFPP / ADTEC class B generators
Generator type: ENI OEM12B
Power supply: 208 V, Single phase
Cable length: 60" RF Cables with cesar 1312 gens
MFC With core chamber
Installed:
Heater jackets on isolation valve, throttle valve & foreline
HEPA Mini-environment with blower & ULPA filter
Bracket sensor lift pin (Up / Down), 062-00017-00
Bracket sensor side slit door (Bottom / Upper), 053-00018-00 & 053-00011-00
Pneumatic manifold (4) stations:
2-4 Ports (Middle)
3-8 Ports (Lower)
Regulators, 0-150 PSI
With gauge for slit doors & lift pins up / Down
Power supply:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200/208 VAC, 3 Phase, 60 Amp, (5) Conductors
AC Power: Mainframe AC box, 208 V, Single phase
CE Marked.
MATTSON Aspen II는 고급 프로세스 통합을 위해 특별히 설계된 에칭 및 애싱 프로세스 도구입니다. 프로세스 유연성과 처리량이 높아 연구, 개발, 장치 제조 (Manufacturing) 애플리케이션에 적합합니다. 아스펜 II (Aspen II) 에는 quenching, evaporation 및 etch 모듈을 포함하여 정렬에 쉽게 통합되는 다양한 고유 한 프로세스 모듈이 있습니다. 소광 모듈은 고주파 펄스 (High Frequency Pulsing) 에 의해 제어되므로 프로세스 매개변수에 대한 정밀 제어가 가능합니다. 증발 모듈은 물질의 증발 증착에 높은 속도, 에너지 효율, RF 난방 소스를 사용합니다. 에치 모듈에는 직류 에칭 및 애싱 (ashing) 을위한 무료 DC 로딩 장비와 고속 프리 에치 (pre-etch) 프로그램 및 부드러운 사후 처리를 위한 옵션 DC 로딩 장비가 있습니다. MATTSON Aspen II는 다양한 구성 및 온도 범위로 설계되었습니다. Gas Source Injection System ™ 은 다양한 교정, 균일 한 프로세스를 통해 가스를 제공 할 수 있습니다. 통합 된 다중 이온화 진공 장치는 다양한 프로세스 단계에서 깨끗하고 저압 환경을 만듭니다. 모든 챔버는 액세스 가능하고, 교환이 가능하므로 프로세스 유연성과 높은 처리량을 보장합니다. Aspen II 의 직관적인 제어판 (Control Panel) 은 전체 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있도록 설계되었으며, 손쉬운 데이터 수집 및 보고 기능을 제공합니다. MATTSON 소프트웨어 패키지는 다양한 프로세스에 대한 맞춤형 데이터 및 레시피 관리 기능도 제공합니다. 고급 터치스크린 인터페이스를 통해 머신 탐색이 쉽고, 초보자도 쉽게 액세스할 수 있습니다. MATTSON Aspen II는 통합된 고급 프로세스 통합을 위한 완벽한 솔루션입니다. 높은 처리량, 프로세스 유연성, 간편한 데이터 및 레시피 관리, 간편한 액세스 및 다양한 구성, 즉 '운영/연구 애플리케이션' 에 이상적인 툴입니다.
아직 리뷰가 없습니다