판매용 중고 MATTSON Aspen II #9155758

MATTSON 아스펜 II (MATTSON Aspen II) 는 기판 처리에서 최종 패턴 형성까지 다양한 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 5 플래 튼 비 원격 장비에서 직경 300mm (최대 300mm) 의 웨이퍼를 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 이 시스템은 완전히 자동화된 배치 카세트 로더 (batch cassette loader) 와 정렬기 (aligner) 를 갖추고 있어 수동 로딩 및 정렬이 필요하지 않습니다. 더욱 편리하게 사용할 수 있도록 업계 표준 로봇 로더에 연결할 수 있습니다. 아스펜 II (Aspen II) 의 독특한 설계를 통해 최소한의 프로세스 변화와 뛰어난 제품 균일성으로 높은 처리량을 제공 할 수 있습니다. 이중 영역 프로세스 챔버 (dual-zone process chamber) 는 프로세스 매개변수를 독립적으로 제어하여 장치가 더 높은 프로세스 속도를 달성 할 수 있습니다. 기계는 또한 조정 가능한 웨이퍼 온도 조절 도구 (wafer temperature control tool) 를 갖추고 기판 온도 변동으로 인한 결함을 최소화합니다. 빠른 프로세스 시간 외에도 MATTSON Aspen II는 정확한 플라즈마 에칭 및 고품질 패턴화를 제공합니다. 에셋은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 최적화되어 고급 레시피를 사용하여 고품질 에칭 및 애싱 프로세스를 보장합니다. 최소 크기의 피쳐를 위한 가변 크기 오프닝 (옵션) 과 정확한 패턴화를 위한 고해상도 메쉬 (high resolution mesh) 가 추가로 제공됩니다. 이 모델은 또한 운영자를 잠재적 인 위험으로부터 보호하기 위해 몇 가지 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 개방 또는 손상된 카세트를 감지하는 적외선 센서와 로드록 및 수동 로딩 시스템에 대한 자동 비활성화 (auto-disable) 메커니즘이 포함됩니다. 아스펜 II (Aspen II) 는 다양한 장치로, 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 대한 강력한 성능, 정확한 제어 및 정확한 패턴을 제공합니다. 간편하고, 사용자 친화적인 설계를 통해 쉽게 설치, 운영할 수 있으며, 이는 연구, 개발, 생산에 이상적인 선택입니다.