판매용 중고 MATTSON Aspen II #293775105

MATTSON Aspen II는 반도체 장치 및 집적 회로의 제조에 사용되는 고급 etcher/asher입니다. 이 장비는 매우 구성 가능하며, 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 기타 관련 프로세스를 지원할 수 있습니다. 시스템의 코어는 4 축 동작 제어 장치 (4축 동작 제어 장치) 로 구성되어 있습니다. 여기에는 전체 작업 영역 (working area) 에 대한 웨이퍼의 정확한 이동을 보장하기 위해 동작 플랫폼이 장착 된 고속 스테이지가 포함됩니다. 또한, 미세하게 교정 된 선형 인코더-리졸버 머신 (linear encoder-resolver machine) 은 모션 플랫폼 위에 위치하여 정확한 패턴화를 보장하기 위해 웨이퍼 표면의 자세한 뷰를 제공합니다. 아스펜 II는 처리를위한 최첨단 에칭 및 애싱 챔버를 갖추고 있습니다. "가스 '배달 도구 를 사용 하여 원하는" 에칭' 이나 "가스 '를 정확 하게 전달 한다. 또한 정밀도가 높은 웨이퍼 포지셔닝 자산을 제공하여 정확한 정렬을 보장합니다. 또한 뛰어난 정확도와 안정성을 갖춘 고품질 빔 스캐너 (beam scanner) 와 웨이퍼 위치를 결정하는 다중 채널 정전용량 센서 (multi-channel capacitive sensor) 가 포함되어 있습니다. MATTSON Aspen II는 직관적이고 사용하기 쉬운 강력한 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 풍부한 경험과 초보자 (novice) 사용자들은 사용 편의성과 포괄적인 제어 옵션에 감사할 것입니다. 리치 제어 인터페이스 (Rich Control Interface) 를 사용하면 온도, 시간, 가스 흐름, 압력 등과 같은 매개변수를 프로세스 과정에서 쉽게 조정할 수 있습니다. 아스펜 II (Aspen II) 는 다양한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 레시피와 함께 사용할 수 있으며, 모델의 라이브러리에 저장되어 빠르게 액세스 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 레시피 메모, 매개변수, 로그를 빠르게 선택, 로드, 수정할 수 있습니다. 간단히 말해, MATTSON Aspen II는 정확하고 반복 가능한 처리를 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 정교한 모션 컨트롤 (motion control), 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 챔버 (ashing chamber) 및 상세한 제어 기능의 조합으로 집적 회로 및 반도체 장치의 제작에 이상적입니다.