판매용 중고 MATTSON 165-91000-00 #293671335

MATTSON 165-91000-00은 사진 해설을위한 고급 에칭 또는 애셔 장비입니다. 반복 가능한 결과에 대한 프로세스 조건을 최적화하기 위해 조정 가능한 가스 흐름 시스템이 있습니다. 에처는 플로팅 마무리 판이있는 수평 링 척 (ring chuck) 을 사용하여 지형을 줄입니다. 가스 분배 장치에는 조정 가능한 오리 피스가있는 밸브 실리카 라인 (valved silica line) 이 장착되어 방향 가스 흐름, 에칭 프로파일 (etching profile) 의 반복 가능성 및 에지 프로파일의 균일 성을 제공합니다. 이 기계에는 또한 고품질 석영 기판 난방 확산 로가 포함되어 있으며, 반복 가능한 온도 프로파일에 대한 정확한 온도 조절, 기판에 대한 낮은 열 충격 (thermal shock) 이 있습니다. 커패시턴스 엔드 포인트 감지 (capacitance end point sensing) 도구는 수동 및 자동 작동 옵션과 함께 에셋에 통합됩니다. 이 모델은 또한 다른 프로세스 제어 시스템 (예: Job Controllers 및 MES 시스템) 과 상호 작용하여 프로세스 제어 및 모니터링을 극대화할 수 있습니다. 프로세스 기능 측면에서 165-91000-00은 실리콘, 쿼츠, 세라믹, 알루미늄, 유리 등 거의 모든 기판의 정밀 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 이 장비는 고해상도 적용을 위해 금, 구리, 크롬, 팔라듐과 같은 금속을 퇴적시키고 에치 할 수 있습니다. 이 시스템의 공정 범위는 넓으며, 깊이가 3m에서 18jm까지 식각 할 수 있습니다. 또한 다양한 응용 프로그램에 대한 최적의 에치 (etch) 결과를 위해 에치 레이트를 튜닝 할 수있는 광범위한 프로세스 창이 있습니다. MATTSON 165-91000-00은 또한 뛰어난 프로세스 반복성 및 통계 프로세스 제어 도구 (예: SPC 차트) 를 제공합니다. 또한 레시피, 프로세스 매개 변수의 실시간 실시간 모니터링, 프로세스 추세 분석, 통계 프로세스 제어, 프로세스 데이터 스토리지 등이 포함된 온보드 프로세스 소프트웨어 패키지가 있습니다. 이 장치는 테플론 (Teflon) 과 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 있어 부식에 내구성이 뛰어납니다. 모든 유리 및 실리카 연결은 단단히 누출되며, 기계에는 자체 청소 가스 라인이 있습니다. 또한, 이 도구에는 고급 안전 기능뿐만 아니라 venturi 로딩 및 4 "웨이퍼 처리가 제공됩니다. 전체적으로, 165-91000-00은 고해상도의 거의 모든 기판을 정확하게 에칭하는 고급 에칭/애셔 에셋입니다. 고급 안전 기능 및 4 "웨이퍼 처리 기능을 갖춘 우수한 프로세스 반복성, 통계 프로세스 제어 도구를 제공합니다. 이 모델은 테플론 (Teflon) 과 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되어 있어 부식에 매우 내구성과 내성을 갖습니다. 가스 분배 장비는 방향 가스 흐름을 제공하여 반복 가능한 에칭 프로파일 (etching profile) 과 모서리 프로파일의 균일성을 보장합니다.