판매용 중고 MATRIX System One #9201831
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ID: 9201831
웨이퍼 크기: 6"
Stripper, 6"
Included ranging:
50mm up to 150mm
The system optimizes vital device parameters:
Enhanced gate oxide integrity
Reduced threshold and capacitance voltage shifts
Reduced contact resistance / Oxidation
Photoresist Stripping:
High dose implant
Post-polysilicon etch
Post-metal etch
Post-oxide etch
Controlled resist removal:
Post-develop descum (pre-etch)
Dry / wet process capability
Uniformity capability (<5% 1σ)
GaAs, InP wafer strip and descum
Thin film head resist cleaning
Opto-electronic devices cleaning
MEMS
Single wafer multi-Step Processing:
Precisely controlled & repeatable stripping of each wafer
(3) programmable steps + overstrip
Capable of long process times for exceptional control
High throughput:
35 WPH on 150mm substrate
Aluminum Wafer Chuck:
Fast
Precise
Uniform removal of resist
Low Particles:
0.1 particles (>0.3μm) added per cm2
Proven System Performance:
700 System ones in use worldwide
95% uptime
Proven Reactor Design:
Closed-loop temperature control
Stable range for strip:
150°C – 250ºC (+/-5°C)
For descum:
70°C – 150ºC .
매트릭스 장비 원 (MATRIX Equipment One) 은 금속 표면에 레이저 컴포넌트를 표시하는 데 사용되는 최첨단 에처 및 애셔입니다. "알루미늄 ', 강철, 황동," 스테인리스' 강철, "티타늄 '및 구리 와 같은 연금속 뿐 아니라 견고 한 재료 를 식각 하는 데 적합 하기 때문 에 산업 마킹 용도 에 적합 하다. "에처 '와" 애셔' 에서 방출 되는 "레이저 '광선 은 정확 하고 정확 하여 빠르고 쉽게 표시 할 수 있다. 시스템 원 (System One) 의 디자인은 컴팩트하고 내구성이 있으며, 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 조정 가능한 베이스를 사용하면 레이저 빔을 정확하게 제어하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 직관적인 제어판 (control panel) 을 사용하면 프로세스에 커밋하기 전에 설정을 쉽게 제어하고, 매개변수를 조정하고, 디자인을 미리 볼 수 있습니다. 내장형 안전 기능은 안전성과 내구성을 보장하는 동시에, 손쉽게 청소할 수 있습니다. 이 장치에는 원하는 재료를 읽고 레이저 빔을 올바르게 배치하는 광섬유 스캐너 (광섬유 스캐너) 도 포함되어 있습니다. 이 기능은 재료를 에칭 (eched) 하거나 재시 (ashed) 하더라도 정확하고 정확한 패턴을 보장합니다. 자동화된 소프트웨어를 사용하면 쉽게 사용자 정의하고, 패턴을 정확하게 재현할 수 있으며, 정교한 이미징 알고리즘을 통해 정확한 마킹을 보장할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 그래픽 및 CAD 소프트웨어와 함께 편안하게 작동하여 빠르고 쉽게 설계할 수 있습니다. "레이저 '" 마아킹' 공정 의 속도 와 정확성 은 여러 가지 산업 및 상업 "애플리케이션 '에 이상적 이다. 인벤토리 부품, 일련 번호, 제품 코드, 바코드, 로고 등을 다양한 자료에 표시하는 데 적합합니다. "에치드 마킹 (etched marking) '이나" 애쉬드 마킹 (ashed marking)' 의 크기도 인상적이다. MATRIX Tool One은 빠르고 정확한 레이저 표시를 제공합니다. 그 특징, 정확성, 내구성이 산업용 응용프로그램에 이상적인 선택이 되며, 품질, 일관성 있는 결과를 내고 싶은 모든 사람에게 이상적인 선택입니다 (영문). 금속 또는 기타 재료를 표시하든, 에셋 원은 사용 가능한 최상의 옵션입니다.
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