판매용 중고 MATRIX System One 303 #120123
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MATRIX Equipment One 303은 마이크로 가공에 사용하도록 설계된 이중 주파수 에처/애셔입니다. 사용 편의성과 비용 효율성을 위해 설계된 컴팩트한 벤치탑 시스템입니다. 이 장치에는 저진동 모터 (low-vbration motor) 와 효율적인 냉각기 (cooling machine) 가 장착되어 미세 전자 및 MEMS 부품을 에칭 및 재싱하기에 이상적인 도구입니다. 최대 6 "의 기판을 처리할 수 있으며 1 MHz ~ 10 MHz 범위의 펄스 주파수에서 작동 할 수 있습니다. Tool One 303에는 에셋의 설정을 제어하고 성능을 모니터링하는 고급 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어 패키지를 사용하면 각 응용 프로그램에 특정한 펄스 주파수, 펄스 너비, etch/ash 지속 시간, 온도 및 기타 설정을 지정할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 정확한 프로세스 설명서의 매개변수와 설정을 기록하고, 빠른 프로세스 문제 해결을 위한 오류 감지 (fault detection) 를 제공합니다. MATRIX Model One 303은 또한 최소한의 예방 유지 보수가 필요한 유지 보수 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 자원을 최대한 활용하고, 프로젝트 완료 시간을 줄일 수 있습니다. 또한, 시스템은 한 기판에서 다음 기판으로 변경하는 데 필요한 시간을 최소화하는 빠른 전환 (rapid-changeover) 설계를 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 복잡한 설정으로 처리되는 장치 (unit) 나 낭비 시간 (waste time) 을 종료하지 않고도 다른 기판을 빠르게 전환하거나 새 배치를 시작할 수 있습니다. 머신 원 303 (Machine One 303) 은 또한 부드러운 공정 제어 냉각 및 진공 온도 제어를 사용하여 신뢰할 수있는 공정 결과를 제공합니다. 이것은 균일하고 매우 정확한 반복 가능하고 신뢰할 수있는 에치/애쉬 프로세스를 보장합니다. 전반적으로 MATRIX Tool One 303은 microelectronic 및 MEMS 구성 요소를 에칭하고 ashing하는 데 적합합니다. 소형화되고 비용 효율적인 자산으로, 사용, 유지 보수가 용이하며, 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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