판매용 중고 MATRIX System One 105 #9293401
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ID: 9293401
웨이퍼 크기: 4"-6"
빈티지: 1991
Asher, 4"-6"
Si and GaAs,
Square substrates, 4.5"
RF 100 - 500 V
Auto-tune
Maximum watts: 600 W, 13.56 MHz
Special chuck: 70 mm - 150 mm
Special chuck wafers: 50 mm
Adjustable cassette platform
TYLAN Butterfly valve
Capacitance manometer
Temperature control:
Wafer chuck
Closed loop
Resistive element heated
Perimeter
Draw pump ring grooved
Chuck: 150°C - 250°C, (+5°C)
Descum: 70°C -150°C, (+5°C)
At > 250 W
Plasma chamber: Side shooter gas inlet
Electrode design: Meshed electrodes
Clamped dual quartz baffle design
Base plate cooling
Throughput: >35 WPH
Process gases: O2 and N2 (MFC Optional)
Strip rate, 6"
Baked resist: 1.2µ
120°C > 1.2 µ/min at 250° C
Repeatability ±10%
Non-uniformity 1 Sigma: < 5%
Particulates added: <0.10 cm²
Size: >0.2 mm
Descum: +10%, 1 Sigma
Minimum vacuum pump speed: 32 CFM
Reliability:
Availability: > 95%
MTBF: > 450 Hours
MTBA: > 24 Hours
MTTR: < 4 hours
No wafer cooling station
1991 vintage.
MATRIX Equipment One 105는 금속 마무리, 단단하고 부드러운 재료, 표면 준비, 마킹, 에칭 및 라벨링을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 광범위한 어플리케이션을 제공하는 정밀 기계로 작동합니다. 통합 컨트롤러는 B&R PLC2 컨트롤을 사용하며, 이 컨트롤은 다양한 기능을 비롯하여 안정적이고, 정확하고, 빠르게 작동합니다. 따라서 etcher/asher는 유지 보수가 거의 필요하지 않으므로 원활하게 작동합니다. 독립형 컨트롤러는 장치 자체를 작동하며, 포함된 PC 인터페이스를 통해 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 시스템을 쉽게 프로그래밍하고 설정하고, 일괄 처리 및 반복 (repeat run) 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 두께의 모든 재료를 에칭/애셔링할 수 있습니다. 스테인리스 스틸, 알루미늄, 황동, 플라스틱, 유리 및 기타 복합재와 같은 부드럽고 단단한 재료를 처리 할 수 있습니다. 기계의 수평 작업 면은 최대 1000mm x 800mm 크기의 재료 시트를 처리 할 수 있습니다. 크로스 빔 (Cross Beam) 을 사용하면 최대 5 개의 도구를 빠르게 변경할 수 있으며 프로젝트 중에 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 기능이 있어 사용자가 설치, 운영하기 쉽습니다. 온보드 메모리 (On Board Memory) 자가 진단 (Self Diagnostic) 경보를 통해 사용자에게 오류를 경고하여 신속하게 해결 조치를 취할 수 있습니다. 또한 안전 경비대 (Safety Guard) 가 제공되어 재료를 처리하고 운영자가 안전한지 확인합니다. 전체 도구는 안전에 대한 VDE/GS 및 DIN 호환 도구입니다. 이 장치는 UV 및 IR 다이오드 레이저 시스템 (IR Diode Laser System) 의 조합을 사용하여 높은 재료 사용률로 높은 정밀 결과를 얻을 수 있습니다. UV 레이저 소스를 사용하면 플라스틱을 처리 할 수 있으며, IR 레이저 에셋을 사용하면 금속과 유리를 처리 할 수 있습니다. 동시에 신속하게 처리 할 수있는 6 개의 작업 헤드 위치가 있습니다. 대상 재료의 다중 풀 (multiple pool) 패턴은 처리를 단순화하고 짝수 서피스 마무리를 달성합니다. 이 모델은 유지 보수가 적은 설계로 제작되었으며, 다운타임을 최소화하면서 안전하고 효율적인 운영을 지원합니다. MATRIX Equipment One 은 빠른 처리 시간과 높은 품질의 최종 결과를 제공할 수 있는 강력한 Etcher/Asher 입니다. 이것은 다양한 제조 및 엔지니어링 응용 프로그램에 사용되므로 편의성, 속도, 정확성을 제공합니다.
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