판매용 중고 MATRIX Jaguar 300MM #9220309

매트릭스 재규어 300MM 에처/애셔 (MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher) 는 웨이퍼 및 패턴 기판과 같은 대규모 기판의 에칭 및 재시를 위해 특별히 설계된 아트 에칭 및 애싱 장비의 상태입니다. 이 시스템은 최소 0.6 음 (um) 까지 에치를 생산하고 크기가 5 인치에서 300 밀리미터 사이의 대형 기판에 균일하게 에칭 된 표면을 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 질소, 불소, 인, 황 등을 포함한 다양한 에치 화학 물질을 제공합니다. 재규어 300MM은 반응성 이온 에칭 (reactive ion etching), 전자 사이클로트론 공명 (electron cyclotron resonance) 및 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 같은 고급 에칭 기술을 사용하여 에칭 프로세스를 최적의 속도, 품질 및 지역에 맞게 조정할 수 있습니다. MATRIX Jaguar 300MM은 Cassette-Stage, Gas Box, Air and Pump Utilities, Chamber 및 Advanced Control Machine을 포함한 다양한 하위 시스템으로 구성됩니다. 카세트 스테이지 (Cassette-Stage) 를 사용하면 에치 챔버 (etch chamber) 에 큰 기판을 빠르고 정확하게 배치 할 수 있으며 레벨 러 메커니즘, 카세트 핸들 및 진공 척 도구로 구성됩니다. 가스 박스 (Gas Box) 자산은 에치 화학 물질을 챔버에 도입하기위한 계량 노즐 (metered nozzle) 을 제공하며, 다양한 밸브와 컨트롤러는 가스와 에치 화학 물질을 반응 할 때 정밀도를 허용합니다. 모델의 공기 및 펌프 유틸리티 (Air and Pump Utilities) 는 챔버에 비활성 및 비활성 대기를 제공하며 공기 제트 냉각 터보 분자 황삭 펌프, 티타늄 구동 로터리 펌프 및 기타 여러 구성 요소로 구성됩니다. 챔버 (Chamber) 장비는 에칭 및 애싱 프로세스에 최적화된 맞춤형 환경으로, 전자 사이클로트론 공명 발전기, 반레이더 및 정렬 목적을위한 정전기 척 (electrostatic chuck), 가스 분포 매니 폴드로 구성됩니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 모든 서브시스템을 통합하고 사용자에게 에칭 (etching) 프로세스의 실시간 데이터 획득을 제공하고 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있도록 합니다. Jaguar 300MM Etcher/Asher는 뛰어난 지역 및 프로세스 제어로 높은 처리량 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 장치는 기판 전체에 걸쳐 우수한 에치 프로파일 (etch profile) 과 균일성 (unifority) 을 제공하도록 설계되었으며, 다른 에친트 시스템에 비해 뛰어난 성능을 제공합니다. 카세트 스테이지 (Cassette-Stage), 가스 박스 (Gas Box) 및 고급 제어 기계 (Advanced Control Machine) 와 같은 고급 기술이 통합되어 사용자들은 에칭 및 애싱 프로세스를 안정적이고 정확하게 제어할 수 있는 강력하고 유연한 플랫폼을 제공합니다. MATRIX Jaguar 300MM Etcher/Asher 활용은 사용자에게 대규모 기판의 에칭 및 재싱을위한 아트 툴 상태를 제공합니다.