판매용 중고 MATRIX 403 #9250129

MATRIX 403은 마이크로/나노 전자 제조를 위해 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 이 올인원 리소그래피 시스템은 고해상도 (High Resolution) 와 반복성 (Repeatibility) 을 갖춘 초미세 기능 및 패턴을 생산하는 데 이상적입니다. 직접 쓰기, 리프트 오프, 양수/음수 저항 패턴, 다층 처리, 스퍼터 코팅 및 산화물 에칭을 수행하여 기판에서 정밀 패턴을 생성 할 수 있습니다. 403에는 수리 가능한 선/공간 패턴을 생성 할 수있는 유연하게 설계된 패턴 생성기가 있습니다. 또한 정밀도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 전용 정밀 동작 제어 시스템이 포함되어 있어 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 여기에는 가변 속도 모터 드라이버, XY 테이블, 마이크론 해상도 변위 센서 (micron resolution displacement sensor) 와 같은 다양한 호환 센서와 컨트롤러가 장착되어 있어 정확한 에칭 또는 재싱을 위한 가공소재의 변위를 측정합니다. MATRIX 403은 독립적이고 정확한 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 고급, 사용자 정의 캔 시퀀스를 사용하며 유전체, 금속 및 폴리머의 건식 에칭으로 매우 효율적입니다. 컴퓨터 제어 XY (Computer Control XY) 무대가 장착되어 가공소재의 패턴을 정확하게 배치하고 에칭할 수 있습니다. 컴퓨터가 제어하는 단계를 소프트웨어와 결합하면, 반복 가능한 정확도로 초미세 (ultra-fine) 기능을 쉽게 구현할 수 있습니다. 403은 또한 포토 esist 스피너, 코팅 시스템, 수소 플라즈마 시스템, 포스트 에치 베이킹 시스템 (post etch baking system) 을 포함한 다른 프로세스와 통합하여 에칭 요구를위한 완전한 솔루션을 형성 할 수 있습니다. 강력한 사용자 인터페이스, 컴팩트한 디자인, TCO (총소유비용) 등이 있습니다. 사용자 정의 가능한 기능을 통해 사용자는 복잡한 구조에 대한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 더욱 세밀하게 조정할 수 있습니다. 요약하면, MATRIX 403은 기판에서 초미세 기능과 패턴을 빠르고 정확하게 생산하도록 설계된 견고한 정밀 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 강력한 패턴 생성기, 정밀 모션 컨트롤 시스템, 사용하기 쉬운 컴퓨터 제어 XY 스테이지 (computer-controlled XY stage) 를 갖추고 있으며, 다른 프로세스와 통합하여 더욱 다양한 패턴 기능을 제공합니다. 사용자 친화적, 저렴한 설계로 403은 마이크로/나노 전자 제작에 이상적인 선택입니다.