판매용 중고 MATRIX 303 #9396142

MATRIX 303은 Oxford Instruments가 제작 한 완전 자동화 된 etcher/asher입니다. 나노 스케일 제작 (nano-scale fabrication) 과 같은 신흥 기술에 사용되는 다양한 포토레스 (photoresist) 및 필름에 대한 빠른 에칭을 가능하게하도록 설계되었습니다. 그 결과, 그것 은 전세계 의 연구 실험실 에서 매우 많이 찾는 도구 가 되었다. 303은 여러 구성 요소로 구성됩니다. 여기에는 통합 진공 카세트 스테이션, 자동 제어 장비 및 클리닝 스테이션과 시스템의 핵심 인 Direct-Write 리소그래피 (Direct-Write) 도구가 포함됩니다. 이 도구는 X-Y 단계를 사용하여 기판 위로 사진 마스크 또는 포토 마스크 (photomask) 를 이동하며, 20nm 이하의 피쳐 크기를 빠르고 정확하게 에칭할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 이미징 장치 (High-End Imaging Unit) 가 장착되어 있어 나노 (Nano) 제작에서 매우 중요한 이미지 정렬이 가능합니다. 이 장치는 또한 마스크 정렬 기계 (mask alignment machine) 를 통합하여 노출 전에 포토 마스크를 정확하게 배치합니다. MATRIX 303에 통합 된 스테인리스 스틸 카세트 스테이션 (Stainless Steel Cassette Station) 을 사용하면 기판 홀더를 기계에 빠르고 쉽게 적재 할 수 있으며, 수동으로 웨이퍼를 적재 및 언로드하고 빠른 에치 속도를 구현할 필요가 없습니다. 자동 제어 도구 (Automated Control Tool) 를 사용하면 에치 시간 (etch time), 압력 (pressure) 과 같은 특정 매개변수를 설정하고 에칭 프로세스의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 303에 내장 된 고급 청소 자산은 식각 성능이 우수합니다. 2 단계 청소 공정 (two-step cleaning process) 은 에칭 공정으로 인한 잔기를 제거하고 장비를 보호하고 기질의 오염을 예방하는 데 도움이됩니다. 매트릭스 303 (MATRIX 303) 은 고성능, 신뢰할 수 있는 툴로서 고급 연구실과 중소기업의 생산에 적합합니다. 첨단 기능, 견고한 구성 (solid construction), 손쉬운 작동 (easy operation) 을 통해 높은 정확도와 속도로 에칭해야 하는 사용자에게 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.