판매용 중고 MATRIX 303 #9297047
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ID: 9297047
웨이퍼 크기: 4"-6"
Etcher, 4"-6"
Heated electrode
Parallel plate RF: 13.56 MHz
Generator: 600 Watts.
MATRIX 303은 가장 까다로운 에칭 및 애싱 요구 사항을 위해 설계된 precision etcher/asher입니다. 이것은 매우 신뢰성 있고 견고한 기계로, 매우 정확하고 정확하게 다양한 소재와 기판에 대해 정밀도 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 수행할 수 있습니다. 크기는 100mm (너비) x 60mm (깊이) x 65mm (높이) 인 스테인레스 스틸 챔버가 장착되어 있습니다. 303은 유리, 금속 (철과 비철) 및 플라스틱과 같은 다른 재료를 에칭하고 ashing 할 수 있습니다. 터치스크린 사용자 인터페이스가있는 PLC (programmable logic controller) 기반 컨트롤 시스템 (Control System) 이 장착되어 있어 정확한 매개변수 덕분에 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. MATRIX 303은 40-60 VAC의 전원 공급 장치 (2-5 A 범위의 암페이지) 를 가지고 있으며, 이를 통해 에칭 환경을 전자기 간섭으로부터 안전하게 유지하면서 정밀하게 큰 기판을 가져올 수 있습니다. 또한 에칭 프로세스를 빠르고 안전하게 종료하기위한 스마트 비상 스위치 (Smart Emergency Switch) 가 있습니다. 에칭 및 애싱 공정은 가스 흐름 조절기에 의해 제어되어 아르곤 (Argon), 산소 (Oxygen) 또는 질소 (Nitrogen) 와 같은 다양한 에칭 가스 혼합물을 선택할 수 있습니다. 가스 흐름은 0.3 ~ 0.45 L/min에서 조정할 수 있으며 가스 압력은 0.2 MPa에서 0.6 MPa로 설정할 수 있습니다. 303은 최대 (최대한의 다용도) 와 사용 편의성을 위해 설계되었으며, 에칭 및 재시드 (ashed) 하는 재료에 따라 속도, 시간, 전원 수준, 온도 등 다양한 매개변수를 선택할 수 있습니다. 또한 "에칭 '실 에 연결 되어 있고" 에칭' 과 "애싱 '과정 중 에 안정적 이고 안전 한 분위기 를 보장 하는 진공" 펌프' 를 갖추고 있다. 매트릭스 303 (MATRIX 303) 은 신뢰할 수 있고 견고하며 다양한 고밀도 에처/애셔를 찾는 사람들에게 완벽한 선택입니다. 정밀도, 정확도가 높은 대형 기판을 에칭 및 재싱하기에 적합합니다. 매우 직관적인 터치 스크린 사용자 인터페이스, 조정 가능한 매개변수, 신뢰할 수있는 구성 요소, 303은 에칭 및 애싱 프로세스를 쉽고, 효율적이며, 안전합니다.
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