판매용 중고 MATRIX 205 #9201811
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ID: 9201811
웨이퍼 크기: 6"
Plasma asher / descum dry clean system, 6"
Including ranging:
50mm up to 150mm
The system optimizes vital device parameters:
Enhanced gate oxide integrity
Reduced threshold and capacitance voltage shifts
Reduced contact resistance / Oxidation
Photoresist Stripping:
High dose implant
Post-polysilicon etch
Post-metal etch
Post-oxide etch
Controlled resist removal:
Post-develop descum (pre-etch)
Dry / wet process capability
Uniformity capability (<5% 1σ)
GaAs, InP wafer strip and descum
Thin film head resist cleaning
Opto-electronic devices cleaning
MEMS
Single wafer multi-Step Processing:
Precisely controlled & repeatable stripping of each wafer
(3) programmable steps + overstrip
Capable of long process times for exceptional control
High throughput:
35 WPH on 150mm substrate
Aluminum Wafer Chuck:
Fast
Precise
Uniform removal of resist
Low Particles:
0.1 particles (>0.3μm) added per cm2
Proven System Performance:
700 System ones in use worldwide
95% uptime
Proven Reactor Design:
Closed-loop temperature control
Stable range for strip:
150°C – 250ºC (+/-5°C)
For descum:
70°C – 150ºC .
매트릭스 205 (MATRIX 205) 는 웨이퍼 표면에 복잡한 모양, 패턴 및 이미지를 만들기 위해 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 일반적으로 사용되는 에처/애셔입니다. 이 장치에는 고진공 시스템 (high-vacuum system) 이 장착되어 있어 미세 회로 (fine circuit) 와 기타 기하학을 정확하게 에칭할 수 있으며, 매우 고해상도 이미징이 가능합니다. 장치를 사용하여 선, 호, 다각형, 원 등 다양한 크기의 모양을 가져올 수 있으며, 청소, 평면 화 (planarization), 사후 청소 (post-etch cleaning) 등 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 극저온 펌프 (cryogenic pump) 를 특징으로하여 초고 진공 및 에치 균일성을 제공하는 이온 소스를 제공합니다. "에칭 '과정 은 보통 원통형 챔버 에서 생성 되는 전기 분야 에 의해 작용 된다. "에칭 '" 패턴' 의 모양 과 크기 는 "에칭 '과정 에 사용 되는" 가스' 의 종류 와 "이온 '원 에 공급 하는 데 사용 되는 전류 와 전압 에 의하여 결정 된다. 이 장치에는 진공 냉각기, 홀더 (holder) 및 뷰 포트 (view port) 도 포함되어 있으며 0.5 미크론까지 선 너비를 생성 할 수 있습니다. 에칭 및 청소 프로세스는 매우 효율적이며 일반적으로 완료하는 데 약 5 분이 걸립니다. 에칭 된 패턴의 정확도는 1 미크론 미만입니다. 또한 205 는 한 번에 여러 개의 etching 작업을 수행할 수 있으며, 동시에 3 개 이상의 etching 단계를 수행할 수 있습니다. 즉, 디바이스를 사용하여 수동으로 etching 프로세스를 변경하지 않고도 복잡한 회로를 신속하게 생성할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 모니터와 진단 시스템이 내장되어 있어 즉각적인 피드백 (feedback) 을 제공하고 발생할 수 있는 모든 프로세스 문제를 해결할 수 있습니다. MATRIX 205는 신뢰성이 뛰어나고, 사용하기 쉽고, 합리적인 가격으로 제공됩니다. 마이크로일렉트로닉스 업계에서 복잡한 패턴, 회로, 이미지를 제작하는 데 이상적인 도구입니다.
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