판매용 중고 MATRIX 106 #9144783

MATRIX 106
제조사
MATRIX
모델
106
ID: 9144783
웨이퍼 크기: 6"
Resist asher, 6".
MATRIX 106은 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 고온, 1000 ° C, 모든 세라믹 반응 튜브를 사용하여 정확하고 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 반응 튜브는 균일 한 온도 프로파일을 가지며 850 ° C ~ 1000 ° C 사이의 관 램프에 의해 일관되게 가열됩니다. 또한, 냉각 및 재가열 시간을 설정하고 마이크로프로세서를 제어 할 수 있습니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 원통형 모양과 기판으로 식각하기위한 중심 축으로 설계되었습니다. 방은 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 과정의 특성에 따라 전체 기판에서 균일 한 온도 및 최적의 에칭 속도가 달성되도록 설계되었습니다. 106 (106) 은 또한 강제 공기냉각제를 갖춘 냉각 시스템을 갖추고 있으며, 반응관은 균일 한 온도와 온도 프로파일이 일관되게 유지된다. 또한, 가변 속도 펌프 (variable speed pump) 가 내장되어 있으며, 냉각팬을 조정하여 반응 튜브의 속도와 온도를 조절 할 수 있습니다. 모든 세라믹 반응 튜브는 화학적 에칭을 위해 산화 알루미늄으로 내부적으로 코팅되거나, 다양한 물질 및 기질에 대한 애싱 공정을 위해 이산화규소로 코팅된다. MATRIX 106의 사용자 인터페이스는 사용하기 매우 쉽습니다. 여기에는 시간과 온도를 설정하고 프로세스 모니터링을 위한 LCD 화면이 포함됩니다. 또한, 시스템의 프로세스 및 안전 (Safety) 기능을 제어하기 위해 일련의 물리적 (Physical) 스위치와 버튼이 제공됩니다. 이 모든 "컨트롤 '들 은" 컴퓨터' 앞 에 편리 하게 위치 하여 "컴퓨터 '가 최소한의 훈련 을 받으면 쉽게 작동 할 수 있도록 한다. 106에는 안전한 작동을위한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 반응 튜브 (reaction tube) 에서 과도한 압력을 감지하기 위해 압력 스위치 (pressure switch) 가 제자리에 있으며, 잠재적 누출을 조절 또는 차단하기 위해 밸브가 제공된다. 다른 기능으로는 압력 릴레이 (Pressure relay) 와 긴급 전원 스위치 (Emergency Power Switch) 가 있는데, 이 스위치는 전원 공급 장치에 대한 액세스를 제어하고 심각한 상황이 발생할 때 즉시 꺼집니다. 전반적으로 MATRIX 106은 신뢰할 수 있고 강력한 에처/애셔입니다. 첨단 기능 (advanced features) 과 안전 기능 (safety features) 은 다양한 재료와 기판의 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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