판매용 중고 MATRIX 105 #188833

매트릭스 105 (MATRIX 105) 는 제조 부문에서 사용하도록 설계된 고정밀 에처 및 애셔입니다. 고급 프로토타입 (prototyping), 소규모 배치 생산 및 높은 복잡도 부품 생산에 이상적입니다. 105는 자동 로딩 및 언로드 기능을 제공하며, 더 넓은 지역에 걸쳐 균일 한 깊이를 제공하는 우수한 이온 에너지 (ion energy) 및 빔 균일성 (beam unifority) 을 제공합니다. 매트릭스 105 (MATRIX 105) 는 RF 유도 플라즈마 소스를 사용하여 고객 요구 사항에 맞게 조정 할 수있는 프로그래밍 가능한 그리드 전압을 사용합니다. 조정 가능한 프로세스 매개 변수는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 더 큰 프로세스 안정성과 향상된 정밀도를 제공합니다. 다국어 사용자 인터페이스 (Multi-Language User Interface) 를 통해 시스템을 쉽게 작동할 수 있으며, 사용이 편리한 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 이 기계는 DRAM 게이트 에칭, 웨이퍼 연마, 에칭 구멍 프로세스 등 다양한 종류의 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 적합합니다. 105에는 뛰어난 모션 제어 및 정확도를 제공하는 로터리 인덱서 (rotary indexer) 와 선형 동기 모터 (linear synchronous motor) 가 장착되어 있습니다. 가공소재는 2 피스 클램프에 의해 안전하게 고정되어 있으며, 부피가 큰 마이크로 매니 펄레이터를 사용할 필요가 없으며, 반복 능력을 향상시키고, 에치 챔버 로딩 시간을 감소시킵니다. 또한 안전성을 보장하고 장기적인 운영 안정성을 유지하는 다양한 보호 시스템 (Array of Protection System) 이 장착되어 있습니다. MATRIX 105는 이온 에너지, 이온 폭격 표면 온도, 에치 속도 균일성, 반복성 등과 같은 다양한 매개 변수를 가진 염소, 산소, 산소와 같은 다양한 에치 가스와 함께 사용될 수 있습니다. 공정 매개변수 (Process parameter) 는 최고 품질의 결과와 함께 미세 제어 (Fine Control) 를 위한 요구 사항에 맞춰 조정할 수 있습니다. 안경, 세라믹, 폴리머 및 금속과 같은 여러 기질과 호환됩니다. 전반적으로 105는 고급 에칭/애싱 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 조정 가능한 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 자동화된 로드 및 언로드 (unloading) 기능은이 에처와 애셔를 정확하고 고품질의 결과에 이상적인 선택으로 만듭니다. 이 제품을 통해 제조업체는 오버헤드를 줄이고 효율성을 높일 수 있으며, 보다 현명한 비즈니스 의사 결정과 더 빠른 운영 주기 (production cycle) 를 실현할 수 있습니다.