판매용 중고 MARCH XTRAK #9258237

MARCH XTRAK은 현대 반도체 시설을 위해 설계된 최첨단 상태 etcher/asher입니다. 이 정밀 도구는 처리량이 많은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하며 각 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 조정될 수 있습니다. XTRAK에는 맞춤형 고온로가 장착되어 있으며, 고정밀, 다축 동작 단계에 장착되어 있으며, 레이저 금속 에처 (etcher) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 프로세스가 진정한 3D 형상으로 완료되어 타의 추종을 불허하는 정확도와 정밀도를 달성할 수 있습니다. MARCH XTRAK은 중형 웨이퍼의 경우 최대 전력 섭취량 80KW, 대형 웨이퍼의 경우 91KW를 자랑합니다. XTRAK은 금속 에칭, 사진 식각, 어닐링, 스퍼터 증착, 패턴 편집 등 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 설계되었습니다. 이 고정밀 기계는 탁월한 해상도로 패턴을 만들 수 있습니다. 3 월 엑스트랙 (MARCH XTRAK) 은 또한 패턴이 에칭되기 전에 표면을 빠르고 효과적으로 청소하도록 설계된 통합 기판 청소 시스템을 제공합니다. 따라서 웨이퍼에 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. XTRAK은 안전 및 운영자 보호를 염두에 두고 설계되었습니다. 이 도구의 편리한 PLC 제어 시스템은 공장 자동화 시스템과 통합되며, 강력한 안전 및 규제 체계를 제공합니다. 이는 모든 안전 절차를 따르고 모든 작업이 원활하게 진행되도록 합니다. MARCH XTRAK에는 추가 인원 보호를위한 폴리 이마이드 도어도 있습니다. 전반적으로, XTRAK은 반도체 시설에 탁월한 수준의 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 뛰어난 에처/애셔 (etcher/asher) 솔루션입니다. 이 도구는 우수한 전력 소비량 (Power Intake), 탁월한 안전 기능을 제공하며 높은 처리량 에칭 및 애싱 (Ashing) 어플리케이션에 적합한 플랫폼을 제공합니다. photolithography etching, sputter deposition, annealing 또는 pattern editing을 수행해야 하더라도 MARCH XTRAK은 프리미엄 결과에 이상적인 선택입니다.