판매용 중고 MARCH Super Plasmod #9089873

3 월 슈퍼 플라즈모드 (MARCH Super Plasmod) 는 다양한 응용 프로그램에 정확하고 정확한 에칭 및 애싱 기능을 제공하도록 설계된 에처 및 애셔입니다. 이 제품은 일체형 에칭 및 애싱 (ashing) 장비로, 빠른 주기 시간, 확장 가능한 작업 공간 및 다양한 프로세스 레시피를 제공 할 수 있습니다. Super Plasmod의 넓은 석영 핫 존은 2 ° C 이내의 온도 조절 정확도로 일관된 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 가변 주파수 플라즈마 생성기 (variable-frequency plasma generator) 를 사용하여 응용 프로그램에 맞게 플라즈마 주파수를 쉽게 조정할 수 있습니다. MARCH Super Plasmod의 Dual Gas Delivery 시스템은 각 화학 에칭 공정 흐름에 대한 가스 압력, 총 가스 흐름, 반응 가스 흐름 및 가스 밸런스를 제어하여 다양한 전구체 가스 및 비활성 가스를 제공합니다. 이 장치는 또한 특별히 설계된 샤워 헤드를 사용하여 대상 기판에 균일 한 전구체 배달을 제공합니다. 이 기계는 또한 내장형 공정 모니터를 갖추고 있으며, 총 가스 압력, 총 가스 흐름, 기판 바이어스 전압을 기록하여 사용자가 최고의 에칭 결과를 얻을 수 있도록 도와줍니다. 수퍼 플라즈모드 (Super Plasmod) 에는 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모니터링하는 풀 사이즈 뷰포트와 오염을 줄이기 위한 이중 진공 도구가 장착되어 있습니다. 또한 에치 챔버 (etch chamber) 가 외부 전원에 노출되지 않도록 자동 청소 자산이 있습니다. MARCH Super Plasmod에는 모션 감지기, 폐쇄 루프 물 재순환 모델, 긴급 차단 스위치 등 여러 안전 메커니즘이 있습니다. 또한, 이 장비에는 단계별 운영 지침, 다국어 운영 등 다양한 사용자 친화적 기능이 있습니다. 사용자가 매번 일관된 결과를 얻을 수 있도록 수퍼 플라즈모드 (Super Plasmod) 는 매개 변수 나누기를 조정할 수 있으며, 서로 다른 레시피에 대해 다른 매개 변수를 입력하고 저장할 수 있습니다. MARCH Super Plasmod는 산업 및 학술 응용 모두에 이상적인 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 필요한 모든 매개변수를 정확하고 정확하게 제어할 수 있으며, 고급 안전 (safety) 기능과 사용자 친화적 설계 기능이 장착되어 있습니다.