판매용 중고 MARCH PX-500 #9176784

MARCH PX-500은 높은 정밀도를 가진 넓은 영역을 처리하는 데 특화된 고급 etcher/asher입니다. 강력한 레이저 장비 덕분에, 이 시스템은 높은 처리량을 지닌 정밀 (precision) 패턴화가 가능합니다. 이 장치는 각각 pulse 너비와 pulse 반복 주파수 (10ks 및 50kHz) 를 갖는 레이저 다이오드를 채택하고 가변 레이저 전원 설정을 제공 할 수 있습니다. 또한 고효율 난방기와 다중 구역 온도 컨트롤러를 보유하고 있습니다. 이를 통해 에칭/애싱 (etching) 프로세스의 속도를 조절하여 프로세스 재생성을 향상시킬 수 있습니다. MARCH PX 500은 500 x 500 mm의 넓은 처리 영역을 특징으로하며 매우 균일 한 에치 깊이를 제공합니다. 또한 1/8 단계 설정에서 고해상도 5jm의 고해상도를 갖습니다. 이 도구는 Si, 유리, 금속, ITO, 다이아몬드 및 기타 일반적인 기판을 포함한 다양한 재료를 지원합니다. RIE 및 ICP 프로세스 모두에 적용됩니다. 또한, 대형 로딩 트레이 및 자동 처리 시스템은 대량 생산에 매우 효율적입니다. PX-500은 최신 PX 소프트웨어 패키지와 함께 제공되며, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스와 강력한 패턴 편집 기능을 제공합니다. 또한 GDSII (GDSII) 및 CAD (CAD) 와 같은 다양한 데이터 입력 인터페이스를 지원하므로 직접 읽기 및 편집이 쉽고 간편합니다. 보다 복잡한 프로세스의 경우 APO (Automatic Parameter Optimization) 기술을 사용할 수 있습니다. PX 500은 Intel Core i5 프로세서로 구동되며, 높은 계산 속도를 제공합니다. 또한 MARCH PX-500에는 챔버 통합 레이저 안전 셔터 및 눈 보호 (eye protection) 와 같은 다양한 사용자 친화적 인 안전 기능이 장착되어 있습니다. 더 나은 접근성을 위해 에셋은 질소 인클로저 (nitrogen enclosure) 와 프로파일러 (profiler) 및 반사율 (reflectance) 측정과 같은 편리한 진단 도구를 사용하여 설계되었습니다. 또한, 회사에서 제공하는 판매 후 지원은 빠르고 정확한 응답을 보장합니다. 무엇보다도, MARCH PX 500 etcher/asher는 고도의, 사용자 친화적 인 모델로, 넓은 영역의 고밀도 패턴화에 적합합니다. 높은 처리량, 낮은 자재 손실률을 요구하는 프로세스에 이상적인 선택입니다.