판매용 중고 MARCH PX-500 #194996

MARCH PX-500
제조사
MARCH
모델
PX-500
ID: 194996
빈티지: 1999
Plasma cleaner, 1999 vintage.
MARCH PX-500은 다양한 에칭 및 애싱 작업을 처리하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 장치는 알루미늄, 스테인리스 스틸 (stainless steel) 을 처리하고 포토 esist, 차폐 및 보호 필름과 같은 다양한 필름 유형을 가진 복합 재료를 선택할 수 있습니다. MARCH PX 500은 작은 동전 크기에서 더 큰 어레이 크기에 이르기까지 여러 패널 크기를 지원할 수있는 대형, 가열 된 공정 챔버 (process chamber) 를 갖추고 있습니다. 상단 패널 전송 (upper panel transfer) 장비는 제품을 가열된 공정 챔버로 또는 가열하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 리프트 핀, 모터 및 벨트 피더가 포함되어 있어 패널 정렬 정확성을 보장합니다. 약실 은 "아르곤 '이나 질소" 가스' 로 압력 을 받아 균일 한 식각 과 재싱 을 보장 한다. PX-500은 또한 에치 (etch) 를 1 마이크로 니스 (micronis) 까지 매우 미세 해상도 할 수있는 고출력 에칭 장치를 자랑합니다. 애싱 머신 (ashing machine) 은 고도로 구성되어 있으며 무선 주파수 애싱 (rapid frequency ashing) 과 빠른 열 애싱 (rapid thermal ashing) 을 모두 허용합니다. 이 두 프로세스는 최고 수준의 웨이퍼 청소를 달성하도록 설계되었습니다. PX 500은 에치 헤드 (etch head) 와 금속 차폐 마스크 (metal shielding mask) 및 절제 마스크 (ablation mask) 를 정확한 부분에 정확하게 배치하기 위해 강력하고 정확도가 높은 동작 도구를 사용합니다. 이로 인해 부품이 매우 정확하게 에칭되고 재싱됩니다. MARCH PX-500에는 에칭과 재싱의 모든 측면을 제어하는 강력한 16 비트 마이크로 프로세서가 있습니다. 여기에는 직관적인 터치 스크린 인터페이스, 레시피 프로그래밍 및 포괄적 인 자동화가 포함됩니다. MARCH PX 500에는 진단 기능이 내장되어 있어 유지 관리 및 서비스가 더욱 쉽고 효율적으로 수행되므로 가동 시간이 최대화됩니다. PX-500은 견고한 구성을 제공하며 1 년 보증이 지원됩니다. 신뢰할 수 있고 효율성이 높은 에처/애셔 (etcher/asher) 로 다양한 운영 애플리케이션에 적합합니다.
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