판매용 중고 MARCH PX-250 #9233379

제조사
MARCH
모델
PX-250
ID: 9233379
System Solid state: 13.56 MHz RF Generator: 300 Watts Internal RF matching network Automatic tuning Stainless steel chamber (3) Adjustable electrodes / Shelves: 177.8 x 203.2 mm (7" x 8") (3) Process shelves can be configured powered RF (2) Mass flow controllers.
MARCH PX-250은 까다로운 산업 응용 프로그램에서 안정적이고 반복 가능한 성능을 위해 설계된 정밀 에처/애셔입니다. 견고한 3 구역 핫 월 디자인으로 구성되어 뛰어난 에칭 결과를 제공합니다. MARCH PX 250에는 영역당 고온로와 4 개의 다른 난방 요소가 장착되어 있습니다. 용광로의 온도 범위는 주위 1000 ° C이며 가열 요소는 최대 1100 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 또한, 에처 (etcher) 는 프로그램 가능한 최고 온도 속도를 가지며, 이를 통해 가열 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합 PLC 제어 시스템을 통해 사용자는 정확한 매개 변수를 프로그래밍하여 반복 가능성을 보장 할 수 있습니다. PX-250은 또한 기판을 정확하게 정렬하기위한 고해상도 CCD 카메라를 갖추고 있습니다. 중앙가중치 또는 가장자리 가중치 정렬을 위해 카메라를 설정할 수 있습니다. 그런 다음 기질은 에칭을 위해 고온로 아래에서 운반됩니다. 공정 챔버 내의 압력은 압력 조절기 (pressure regulator) 에 의해 조절되어 정확한 에칭 환경을 보장합니다. PX 250의 고급 디자인은 또한 -600 밀리바 (-600 millibar) 의 하위 대기 압력 (옵션) 을 갖춘 통합 공정 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 여러 가지 공정 "가스 '를 여러 가지 기판 을 에칭 하기 위해 주문형 공정" 가스' 에 공급 할 수 있다. "가스 '배기" 시스템' 도 통합 되어 "에처 '로부터 위험 한 부산물 을 제거 할 수 있다. MARCH PX-250은 열 탐사가 적은 정확한 에칭 결과를 위해 설계되었습니다. 강력한 구성 및 통합 고급 기능으로 인해 태양 전지 제조, PCB 처리, 반도체 소자 제조 등 다양한 산업 응용 분야에 이상적입니다. 그 정확성과 반복성은 이러한 업계의 제조업체들에 의해 고도로 추구됩니다.
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