판매용 중고 MARCH PX-250 #9156391

3 월 PX-250 (MARCH PX-250) 은 산업에서 의료에 이르기까지 다양한 분야에서 고급 건식 처리 기능을 제공하도록 설계된 에처 애셔 (etcher-ashers) 장비입니다. 효율적이고 경제적인 이 툴은 다양한 기판에 "정밀하고 일관성 있는 (consistent) 프로파일 (profile) '을 만드는데, 이 네 가지 프로세스 기술을 사용하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 전원 공급 장치, 저항 히터, 진공실, 2 개의 통합 에치 (etch) 및 애셔 챔버 (asher chamber) 를 포함한 첨단 부품을 사용하여 뛰어난 작동과 성능을 제공합니다. MARCH PX 250의 주요 특징은 에치 및 애셔 성능의 높은 단계입니다. 이 장치는 저항 히터 (resistive heater) 와 밀착 결합 된 고출력 진공 챔버 (close-coupled high power vacuum chamber) 를 사용하여 에칭 챔버 내부의 온도가 에칭 및 애싱 프로세스에 대해 일관성 있고 안전한지 확인합니다. 또한, 기계는 자가 조절 (self-regulating) 이며, 사용자가 온도, 가스 흐름, 압력 등의 매개변수와 증착주기 시간을 조정할 수 있도록 로컬 컨트롤을 포함합니다. 또한, 전체 도구는 컴퓨터 지원 절차에 의해 제어되어 각 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 프로세스가 안전하고 올바르게 완료되도록 합니다. 이 자산에는 2 개의 독립적 인 에치와 애셔 챔버가 포함되어 있습니다. 각 챔버는 다른 공정 기술을 사용하여 운영자가 에치 가스 (etch-gas) 및 애셔 가스 (asher-gas) 종의 농도를 제어 할 수 있습니다. 또한 "챔버 '의 별도 의 난방 요소 들 은 전체 공정 에 걸쳐 올바른" 가스 프로파일' 이 유지 되도록 돕는다. 또한, 챔버에는 나노 미터 정밀 에칭을 전달하기 위해 원격 플라즈마 에처 (etcher) 가 포함되어 있습니다. 에처 (etcher) 는 또한 사이클 당 중간 주파수 펄스 (mid-frequency pulse per cycle) 를 생성하여 연산자가 프로세스를 세밀하게 조정하여 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다. PX-250은 프로세스 효율성을 높이기 위해 다양한 다른 기능을 제공합니다. 자동화 된 가스 스크러버 (gas scrubber) 는 챔버에 들어가기 전에 공정 가스를 제거하여 더 깨끗한 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 공정을 허용합니다. 또한, 모델의 가스 제어 메커니즘은 압력을 정확하게 제어 할 수있는 반면, 고급 대기 조절은 공정의 안정성을 향상시킵니다. 마지막으로, PX 250은 웨이퍼 배치 로더 (wafer batch loader) 또는 웨이퍼 단일 로더 (wafer single loader) 와 같은 추가 재료 처리 시스템과 결합하여 간소화 된 건조 처리 작업을 사용할 수 있습니다. 결론적으로, MARCH PX-250은 고급 에치 및 애셔 기능을 제공하는 고성능 건식 처리 도구입니다. 이 에처 애셔 (etcher-asher) 장비는 다양한 기판과 조정 가능한 매개변수에서 정밀도를 달성하기 위해 4 가지 공정 기술을 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한이 시스템에는 2 개의 독립적으로 가열 된 에치 및 애셔 챔버, 자동 가스 스크러버 및 나노 미터 정밀 에칭을 제공하는 원격 플라즈마 에처 (etcher) 가 포함됩니다.