판매용 중고 MARCH PX-250 #9155556

MARCH PX-250은 실험실 샘플과 산업 부품에 대한 정확한 에칭 및 애싱 기능을 제공하도록 설계된 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이 장비는 기판 및 막 기반 샘플을 모두 처리 할 수 있으며 단일 장치에서 최대 3 개의 독립적 인 에치/애쉬 (etch/ash) 기능을 제공합니다. 3 월 PX 250은 유리, 실리콘, III-V 화합물, 연산화물 재료, 폴리머 및 반도체와 같은 다양한 물질에 적합합니다. PX-250에는 별도의 전원 공급 장치가 장착 된 2 개의 에치/애쉬 챔버가 있습니다. 각 챔버에는 최대 20 와트의 전력을 허용하는 RF 소스가 장착되어 있으며 최대 200 와트의 전력을 허용하는 ICP 소스가 있습니다. ICP 소스는 또한 뛰어난 제어 및 정밀도를 제공하며, RF 및 DC 전원을 모두 지원하여 etch/ash 프로세스에서 정확한 에치 치수와 일관성을 생성 할 수 있습니다. PX 250 에칭/애싱 챔버 탑에는 에칭 및 애싱 프로세스를 지원하도록 특별히 설계된 2 개의 독립 쿼츠 탱크가 있습니다. 두 탱크 모두 독립적 인 배기 포트 (exhaust port) 를 갖추고 있으며, 광범위한 재료 및 프로토콜을 처리 할 수 있습니다. MARCH PX-250은 안정적이고 반복 가능한 프로세스 결과를 보장하는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 압력 컨트롤러 (pressure controller) 와 에치 챔버 (etch chamber) 와 애쉬 챔버 (ash chamber) 모두에서 온도 수준을 모니터링하고 유지하는 정밀 온도 컨트롤러가 있습니다. MARCH PX 250은 또한 압력, 시간 및 온도 매개 변수를 프로그래밍 및 제어 할 수있는 현장 방출 디스플레이 (field emission display) 를 특징으로합니다. 이 장치 에는 "헬륨 ', 산소, 질소 의 공급원 에 쉽게 연결 될 수 있는" 가스' 공급 연결 장치 가 포함 되어 있어서 총 공정 의 유연성 과 조절 이 가능 하다. PX-250은 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 특정 에치/애쉬 (etch/ash) 요구 사항을 충족하도록 신속하게 구성할 수 있습니다. 이 기계는 타이밍 에치, 스텝 에치, 벌크 에치 등 다양한 etch 및 ash 프로토콜을 지원합니다. 또한, PX 250 에칭/애싱 도구에는 쉬운 소프트웨어 업데이트를 위한 USB 포트와 프로세스 매개변수의 빠르고 정확한 검증을 위한 MET/CAL 보정 패키지가 포함되어 있습니다. 전반적으로 MARCH PX-250은 단일 장치에서 정밀성과 유연성을 모두 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 강력한 기능과 간편한 디자인, 자산은 다양한 과학· 산업용 어플리케이션을 위한 탁월한 선택으로, 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 필요로 합니다.