판매용 중고 MARCH PX-1000E8 #9145023

MARCH PX-1000E8
제조사
MARCH
모델
PX-1000E8
ID: 9145023
빈티지: 2000
Plasma cleaners 2000 vintage.
MARCH PX-1000E8은 4 세대 에처/애셔입니다. 탁월한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 품질과 성능을 제공하도록 설계된 신뢰할 수 있는 정밀 장비입니다. 반도체 업계에서 규소 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing), III-V 재료, 마이크로 일렉트로닉 상호 연결 등 다양한 분야에 적합합니다. MARCH PX 1000E8은 강력한 저압, 초순수, 화학 에칭 및 애싱 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 통합 된 고온 저항 에칭 및 애싱 챔버, 고해상도, 저소음 광학 현미경, 기판 로드 및 언로드를위한 여러 포트, 운영자 개입 없이 기판을 로드하기위한 자동 로드 메커니즘, 자동 제어 인터페이스 (프로세스 매개 변수 프로그래밍). PX-1000 E8 (PX-1000 E8) 은 화학약의 오염과 희석을 최소화하면서 균일하고 제어 가능한 에칭 및 재싱을 제공하도록 설계되었습니다. 아서 페이스 레지스트 에칭 (subsurface resist etching) 및 애싱 (ashing) 과 같은 공정에서 화학 흡수를 줄이고 균일 성을 촉진하기 위해 최고급 미러 코팅이 장착되어 있습니다. 여기에는 조정 가능한 프로세스 매개 변수 (예: 온도, 흐름 속도 및 압력) 와 베이크하우스 기능이 포함되어 있으므로 사용자가 프로세스를 빠르고 정확하게 조정하고 최적화 할 수 있습니다. 3 월 PX-1000 E8에는 자동 안전 차단, 가스 차폐, 내부 압력 및 온도 센서 등 고급 안전 기능도 포함됩니다. 이 기능은 기계가 항상 안전한 매개변수 내에서 작동하고 있으며, 에칭 (etching) 및 애싱 챔버 (ashing chamber) 의 조기 손상을 방지합니다. 에칭 및 애싱 외에도, PX 1000E8은 증착 강화, 저항 스트리핑 및 좁은 밴드 코팅에 사용될 수있다. 이 도구의 고급 제어 인터페이스 (Advanced Control Interface) 와 자동화된 로드 메커니즘이 결합되어 복잡한 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 원활하게 자동화할 수 있습니다. MARCH PX 1000 E 8은 고성능 프로세스가 필요한 반도체 제조업체를 위한 효율적이고 안정적인 에칭/애싱 도구입니다. 고급 기능과 강력한 안전 시스템 (SSS) 은 자산의 효율성을 극대화하고 일관되게 우수한 결과를 제공합니다.
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