판매용 중고 MARCH PX-1000 #9156371
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ID: 9156371
Plasma asher
RFX600 RF Generator - 600 watts
(1) Power and ground shelves
(2) MFC Controllers
ACG10B RF Generator: 1000 Watt.
MARCH PX-1000은 에처/애셔로, 실리콘, 플라스틱, 유리, 금속 등과 같은 다른 재료의 기판을 에칭하고 재로 만드는 데 사용됩니다. 높은 정밀도로 5 미크론까지 작은 기능을 에칭 할 수 있습니다. MARCH PX 1000에는 20x20 인치의 면적을 보유 할 수있는 진공 챔버가 있습니다. 챔버는 온도 조절이며 우수한 프로세스 제어를 제공합니다. PX-1000은 RF 전원을 사용합니다. RF 전원은 재료가 전원에 노출되면 플라즈마 (plasma) 환경을 생성하는 데 사용됩니다. 플라즈마 (Plasma) 환경은 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 작업을 효율적으로 그리고 산업 수준에서 처리 할 수 있도록 허용합니다. PX 1000은 프로세스 온도, 압력, 전원 수준 등과 같은 매개변수를 조정하는 데 사용하기 쉬운 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. "에칭 '과" 애싱' 과정 에 사용 되는 대부분 의 "가스 '와 호환 된다. 또한 운영의 안전을 보장하기 위해 여러 개의 인터 록이있는 강력한 안전 제어 시스템 (Safety Control System) 이 있습니다. 3 월 PX-1000 은 멀티 플렉스 가스 관리 시스템 (multiplex gas management system) 을 사용하여 여러 가스를 동시에 사용할 수 있으므로 복잡한 에칭 및 애싱 작업을 처리 할 수 있습니다. MARCH PX 1000에는 자동 로드 (auto-loading) 기능이 장착되어 있어 여러 배치를 빠르고 쉽게 로드할 수 있습니다. 또한 방의 특수 배기 (special exhaust) 요구를 관리할 수있는 배기 시스템 (exhaust system) 이 있어 원치 않는 배출을 줄일 수 있습니다. PX-1000에는 장기 에칭 제어 (eching control) 를 포함한 여러 가지 옵션 기능이 있으며, 이를 통해 에칭 작업 기간을 모니터링하고 제어하여 최적의 운영 효율성을 확보할 수 있습니다. 요약하자면, PX 1000은 매우 안정적이고 다양한 에칭/애셔 기판 프로세서입니다. "에크론 '은 5" 미크론' 정도 의 소형화 를 할 수 있으며, 산업 의 부품 생산 을 위한 훌륭 한 선택 이다. 3 월 PX-1000 은 다양한 안전 (safety) 기능과 제어 옵션을 갖추고 있어 에치 (etching) 및 애쉬 (ashing) 작업을 위한 안정적이고 효율적인 옵션입니다.
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