판매용 중고 MARCH PX-1000 #9111369

제조사
MARCH
모델
PX-1000
ID: 9111369
Plasma cleaner (1) set of Power and Ground Shelves All standard system features (2) MFC Controllers Options available: 1000 Watt ACG10B RF Generator Additional Shelf Sets Additional MFC Controllers Vacuum pumps for Oxygen service Hydrocarbon pumps for non- Oxygen Plasma processes Vertical door system.
MARCH PX-1000은 정교한 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 대규모 웨이퍼 제조 및 반도체 제조에 적합합니다. 정확하고 고품질 (고품질) 의 결과를 빠르고 효율적으로 만들 수 있는 완벽한 툴입니다. MARCH PX 1000은 '공격적인' 에칭 기능을 자랑하여 놀라운 속도와 정확도로 금속 및 실리콘 기판을 모두 에칭 할 수 있습니다. 에칭 영역은 관대 한 1000 x 600mm이며, 한꺼번에 많은 기판을 에칭 할 수 있습니다. 에칭은 강력한 3 상 DC 모터로 구동되며, 이를 조정하여 원하는 정밀도를 제공합니다. 에처 (etcher) 에는 운영자가 일하는 동안 안전하게 유지하는 몇 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 안전 도어가 열리면 전원 공급 장치를 비활성화하고, 활성화되면 즉시 장치를 종료하는 E-Stop (E-Stop) 이 포함됩니다. 온도 수준을 유지하는 냉각 시스템 (Cooling System) 도 포함되어 있으므로 구성 요소가 너무 뜨거워지지 않고, 손상될 위험이 있습니다. 제어 측면에서 PX-1000은 매우 사용자 친화적입니다. 터치 스크린 (Touch Screen) 에서 작동하여 필요한 모든 설정을 편리하게 표시하고 다양한 설정에 액세스하여 사용자가 다양한 에칭 (etching) 작업에 대해 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 장치는 또한 에칭 레시피 (etching recipe) 세트로 사전 프로그래밍되어 작업을 더욱 단순화합니다. 또한 PX 1000에는 내장 마이크로프로세서가 내장되어 있어 Etching Progress 모니터링, 기판 매개변수 추적 (예: 온도, 압력, 습도), Etching Data (에칭 데이터 기록) 등의 기능이 제공됩니다. 결론적으로, MARCH PX-1000은 안전하고 사용자 친화적 인 방식으로 최대 1000 x 600mm의 효율적이고 정밀한 에칭을 제공하는 웨이퍼 제조 및 반도체 제조에 이상적인 도구입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스는 상세한 모니터링 및 문서 (documentation) 기능을 제공하는 마이크로프로세서 (microprocessor) 에 의해 더욱 보완되어 강력하고 다양한 기능을 제공합니다.
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