판매용 중고 MARCH PX-1000 #9100080

MARCH PX-1000 Asher/Etcher는 반도체 웨이퍼의 재싱 (유기 재료 제거) 및 에칭 (금속 재료 제거) 모두에 사용되는 Class 10 클린 룸 호환, 고 수율, 완전 자동화 장비입니다. MARCH PX 1000은 웨이퍼를 청소하여 추가 제작 단계를 준비하도록 설계되었습니다. PX-1000은 고급 반도체 장치 제조에 사용할 수 있는 가장 높은 처리량과 가장 깨끗한 처리를 제공합니다. PX 1000의 고유 한 챔버 (chamber) 디자인은 웨이퍼를 배치로 회전시켜 웨이퍼 표면에 화학물질을 균등하게 분산시켜 균일 한 균일 한 에칭 및 애싱 결과를 보장합니다. MARCH PX-1000은 처리 변형을 설명하기 위해 + -2 ° C 범위의 온도 조절을 제공하는 반면, 입증 된 흐름 제어는 웨이퍼에 화학 물질의 증착을 보장합니다. 3 월 PX 1000 에는 청소실 호환성을 보장하는 캐리어 로드 포트 (carrier load port) 가 장착되어 있으며, 한 번에 최대 8 개의 카세트를 로드하여 시스템 처리량을 크게 높일 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 프로세스 시퀀스가 시작되기 전에 웨이퍼가 있음을 감지하는 웨이퍼 감지 스위치 (wafer-sensing switch) 가 함께 제공되며, 에칭/어싱 프로세스 (etching/ashing process) 동안 전원 및 온도 설정을 모니터링하여 최적의 결과를 보장합니다. 또한 PX-1000 에는 고급 정밀 타이밍 (precision timing) 메커니즘과 정교한 소프트웨어 패키지가 장착되어 있어 에칭/애싱 (etching) 프로세스가 빠르고 쉬운 설치를 위해 정확하게 모니터링됩니다. PX 1000은 정밀한 온도 조절을 제공하여 향상된 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 위해 세밀하게 조정할 수 있으며, 최대 에치/재 수를 얻으면 자동으로 프로세스를 종료합니다. 마지막으로, MARCH PX-1000 Asher/Etcher에는 가연성 또는 가연성 물질로 작업 할 때에도 공구를 안전하게 사용할 수있는 공중 냉각기 (aerial cooling machine) 를 포함한 여러 안전 기능이 있습니다. 이 자산은 또한 다양한 분석 요구 사항에 부합하는 유연한 자동화 옵션 (automation options) 을 제공하여 사용자의 특정 요구에 맞게 모델을 손쉽게 조정할 수 있습니다 (영문).