판매용 중고 MARCH PX-1000 #9094923

MARCH PX-1000은 고급 플라즈마 공정 기술로 탁월한 성능을 안정적으로 제공할 수 있도록 설계된 고성능 etcher/asher 장비입니다. 에칭, 애싱 및 박막 증착을 위한 통합 기능을 갖춘 일체형 솔루션을 갖춘 MARCH PX 1000은 R&D, 반도체, MEMS 및 전자 제조 분야에서 더 어려운 어플리케이션에 적합합니다. PX-1000 etcher/asher는 금속, 세라믹, 폴리머 및 기타 어려운 에치 및 깨끗하지 않은 기판을 포함한 다양한 재료를 에칭 할 수 있습니다. 최대 에치 속도 (최소 0.5 m/m) 와 식각 패턴 해상도 (1m) 를 사용하면 높은 처리량으로 매우 정교하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 PX 1000에는 광범위한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에서 산화 (oxidizing) 또는 CVD 유사 플라즈마 (CVD-like plasma) 를 생성 할 수있는 고급 플라즈마 장치가 장착되어 있습니다. 또한 3 월 PX-1000 은 에칭 (etching) 프로세스를 모니터링하고 필요에 따라 플라즈마 매개변수를 조정하는 통합 디지털 제어기 (Integrated Digital Control Machine) 를 장착하여 프로세스 제어를 강화합니다. 이를 통해 운영자는 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 레시피를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 3 월 PX 1000 은 현장 진단과 호환되므로 운영자가 프로세스를 실시간으로 모니터링하여 적절하고 철저한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 보장합니다. 탁월한 에칭 및 애싱 기능 외에도 PX-1000에는 박막 증착 기능이 내장되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 원하는 두께의 박막 (thin film) 을 하나 이상 웨이퍼 대상에 배치할 수 있습니다. 이것은 특히 새로운 재료 연구와 관련된 응용 프로그램 또는 기능적 코팅 (coating) 또는 장치 제작에 유용하며, PX 1000을 광범위한 연구 및 제조 응용 프로그램을위한 다용도 및 강력한 플랫폼으로 만듭니다. 요약하면, MARCH PX-1000 etcher/asher 도구는 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램, 그리고 박막 증착 프로세스를 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고급 플라즈마 기술, 정교한 디지털 제어 자산, 통합 박막 증착 기능을 갖춘 3 월 PX 1000 은 광범위한 리서치 및 제조 어플리케이션에서 고성능 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 효과적이고 효율적이며 정확한 플랫폼을 제공합니다.