판매용 중고 MARCH PX-1000 #9021103

MARCH PX-1000은 마이크로 전자 장치의 제조에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. 고온 플라즈마 공정을 사용하여 기판을 에칭, 패턴, 청소할 수있는 완전 자동화 된 장비입니다. 기판에서 원치 않는 재료를 에칭 (etching), 제거 (removing) 하는 데 이상적인 다양한 기능과 기능이 장착되어 있습니다. 코어에서 MARCH PX 1000은 고온 플라즈마 에처 (etcher) 를 사용하여 마이크로 전자 장치의 정밀 에칭에 이상적인 비활성 환경을 만듭니다. 이 시스템에는 다수의 교환 가능한 가스 라인 및 소스가 장착되어 있으며, 0.13 mtorr ~ 500 millitorr 범위의 다양한 기판 재료 호환성 및 챔버 압력이 가능합니다. 또한, 이 장치는 웨이퍼 당 약 45 ~ 60 초의 빠른 주기 시간을 자랑하며, 시간 효율적인 방식으로 기판에서 원치 않는 물질을 빠르게 에칭 및 제거 할 수 있습니다. 또한 PX-1000은 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 모든 기능과 기능을 손쉽게 액세스할 수 있습니다. 고급 프로세스 레시피 편집 및 아카이빙 (Advanced Process Recipe Editing and Archiving), 고급 전송/로드 계획 (Advanced Transport/Loading Planning), 실시간 모니터링 (Real-Time Monitoring) 등 다양한 기능이 장착되어 있어 각 프로세스 단계에서 사용자에게 완벽한 제어 및 유연성을 제공합니다. 또한, 이 기계는 혁신적인 디지털 마이크로파 플라즈마 제너레이터 (Plasma Generator) 를 갖추고 있으며, 처리 속도를 크게 향상시키는 한편, 매우 정확한 반복 가능성으로 정밀한 최적화 된 에칭 결과를 제공합니다. PX 1000 은 반도체· 관련 산업의 엄격한 환경안전 요건을 넘어서도록 설계돼 있다. 수많은 안전 기능, 도구에 대한 포괄적 이해, 고급 엔지니어링 덕분에 MARCH PX-1000은 모든 마이크로 일렉트로닉 장치 제작 (microelectronic device fabrication) 애플리케이션의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 결론적으로, MARCH PX 1000은 마이크로 전자 장치 제조 응용 분야에 적합한 고급, 완전 자동화 된 고온 플라즈마 에처/애셔 자산입니다. 다양한 기능과 기능을 갖춘 PX-1000 은 빠른 주기 시간, 정확한 반복성, 운영자 친화적 사용 편의성, 고급 안전 표준 (Advanced Safety Standard) 을 통해 기판을 에칭 및 클리닝할 수 있습니다.