판매용 중고 MARCH PX-1000 #293777657

MARCH PX-1000은 벤치톱 리서치 (bench-top research) 및 대용량 생산 사용자의 요구를 모두 수용하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. "플라즈마 '에칭 과정 을 최적 으로 제어 할 수 있도록 매우 정확 하고 정교 한" 플라즈마' 조절 장치 를 갖추고 있다. 3 월 PX 1000 은 처리량이 높으며, 한 번에 여러 기판과 크기를 수용 할 수있는 독립 전극 및 멀티 존 플래튼 (multi-zone platen) 을 모두 갖추고 있습니다. 또한 PX-1000은 뛰어난 반복성을 제공하여 동일한 플라즈마 에칭 결과를 제공합니다. PX 1000은 디지털 가스 밸브 (digital gas valve) 를 특징으로하며, 이 가스에 사용되는 가스의 농도 및 압력 비율을 제어하기 위해 사전 설정 할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 프로세스의 흐름 속도, 압력, 온도, 습도와 같은 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 3 월 PX-1000 은 외부 이온화 소스 (ionization source) 및 펄스 모드 (pulse mode) 기능을 통해 에칭 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있는 유연성과 탁월한 프로세스 생산성을 제공합니다. 3 월 PX 1000 에는 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 로봇이 장착되어 있어 에칭 용 웨이퍼를 자동으로 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이를 통해 PX-1000의 프로세스 처리량과 기능을 극대화할 수 있습니다. 또한 PX 1000은 플라즈마 모니터링 (plasma monitoring) 및 자동 차단 (automatic shoff) 기능을 갖춘 클로즈드 루프 피드백 장치 (closed-loop feedback unit) 와 환경을 깨끗하고 안전하게 유지하는 배기 장치 (exhaust machine) 를 갖추고 있습니다. 또한 3 월 PX-1000 은 Windows 스타일의 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 기반으로 하는 직관적인 사용자 인터페이스와 다양한 진단 기능 (문제 해결 및 에칭 프로세스 최적화) 을 제공합니다. 또한, 3 월 PX 1000 은 etching 프로세스 데이터 및 매개 변수를 저장, 검색, 관리하기 위해 로컬 PC에 쉽게 연결할 수 있습니다. 요약하면, PX-1000은 플라즈마 에칭 (etching) 프로세스에 대한 탁월한 정확성과 제어를 제공하며, 연구 및 생산 요구를 모두 수용하는 유연성을 제공합니다. 자동 웨이퍼 로딩 및 언로드, 광범위한 진단 기능, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 및 Closed-Loop Feedback 툴을 통해 PX 1000은 모든 에칭 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.