판매용 중고 MARCH PX-1000 #293765898

MARCH PX-1000은 광범위한 반도체 재료의 정밀 처리를 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 고온 및 플라즈마 공정을 견딜 수있는 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. MARCH PX 1000은 특허를받은 양면 에칭 및 애싱 챔버 (최대 8.9 리터) 를 갖추고 있습니다. 이 에칭 및 애싱 시스템 (Etching and Ashing System) 은 매우 정확한 에칭 및 애싱 해상도 1.5zm을 제공하여 매우 얇은 레이어 처리에 이상적입니다. PX-1000에는 에치 프로파일 (etch profile) 과 에칭 및 어싱 (ashing) 결과의 반복 가능성을 최적화하기 위해 온도, 압력, 압력 제어, RF 전원 등 다양한 조정 가능 매개변수가 장착되어 있습니다. 또한, 0.1 ° C의 해상도를 갖는 고정밀 온도 제어 장치 (high-precision temperature control unit) 를 특징으로하여 각 응용 프로그램에 대해 정확한 온도 조절이 가능합니다. 이 기계는 또한 일관되고 안전한 작업을 제공하기 위해 고급 프로세스 제어 인터페이스 (process control interface) 를 갖추고 있습니다. 또한, PX 1000은 고급 안전 기능 덕분에 안정적인 프로세스 안전을 제공합니다. 안전 한 공정 을 보장 하기 위한 압력 과 온도 "센서 '가 장착 되어 있으며, 산소 및 기타 환경 오염 물질 로부터" 제조' 된 물질 을 보호 할 수 있는 비활성 "가스 '제거 도구 를 갖추고 있다. 또한, 에셋은 또한 챔버의 압력을 정확하게 제어하기위한 고압 방전 메커니즘 (High-pressure Discharge Mechanism) 과 에칭 건조 (under-etching) 를 피하기 위해 낮은 유량 가스 (flow rate) 를 특징으로합니다. 고성능 MARCH PX-1000은 고객에게 큰 가치를 제공합니다. 컴팩트하고 경량이며, 모든 생산 모델에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 더욱이, 이 장비는 매우 정확하고 반복 가능하며, 여러 애플리케이션에 대해 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다. 따라서 MARCH PX 1000은 대부분의 생산 환경에 적합한 하이엔드 정밀 에칭 및 애싱 결과를 제공합니다.