판매용 중고 MARCH PX-1000 #293711097

MARCH PX-1000은 다양한 반도체, 도자기 및 기타 기판을 포함한 다양한 재료를 처리하도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 (eching and ashing) 장비입니다. 또한 정밀 한 "패턴 ', 구덩이 및" 트렌치' 를 만들 수 있는 정확하고 신뢰할 수 있는 에칭 프로세스 와 흑연, "실리콘 ', 구리 와 같은 재료 에 대한 정밀 한 해싱 프로세스 를 제공 한다. MARCH PX 1000은 미크론 필터, 디지털 질량 흐름 컨트롤러 및 배포 매니 폴드로 구성된 고급 프로세스 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 이것 은 공정 "가스 '의 지속적 이고 정확 한 흐름 을 보장 해 주며, 그 결과 정밀 한" 에치' 결과 를 가져온다. 이 에칭 장치는 또한 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 를 특징으로하여 챔버 압력, RF 전원, 프로세스 가스 비율 및 기타 중요한 에칭 매개변수를 포함한 모든 에칭 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 컴퓨터에는 자동 온도 조절 모듈 (automated temperature control module) 이 장착되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 동안 정확한 온도 제어를 수행할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 깊이 (etching depth) 와 재싱 (ashing) 품질을 정확하게 제어하고 재료 표면에 열을 손상시키지 않습니다. 또한, 자동 셔터 (automated shutter) 를 사용하여 공기 입자의 흐름을 줄이고 에칭 된 표면의 품질을 향상시킬 수 있습니다. PX-1000은 또한 고정밀도, 완전 밀폐형 CO2 레이저 도구를 갖추고 있으며, 고속, 고정밀 에칭 및 애싱 공정이 가능합니다. 최대 100nm의 정밀도로 에치 할 수 있으며, 드라이 에칭 (dry etching) 및 드라이 애싱 (dry ashing) 공정에 사용될 수도 있습니다. 또한, 이중 주파수 RF 코일을 특징으로하여 단면 및 양면 에치 프로세스를 허용합니다. 고급 레이저 에셋을 사용하면 고정밀도 및 고출력 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 사용자에게 친숙한 터치스크린 인터페이스를 통해 제어되며, 사용자는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 신속하게 설정하고 제어할 수 있습니다. 또한, 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스가 끝날 때 사용자에게 자세한 보고서를 제공하는 자동화된 엔드 포인트 감지 (end-point detection) 장비를 갖추고 있습니다. 이 보고서는 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스의 품질을 추가로 검토하고 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 안전성을 더욱 향상시키기 위해, PX 1000 에칭 및 애싱 시스템에는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 장착되어 있으며, 이는 에칭 또는 애싱 프로세스가 활성화되면 자동으로 중지됩니다. 또한, 전체 에처 (etcher) 에는 모든 프로세스 매개변수가 세트 값에서 벗어날 때 사용자에게 알리는 고급 경보 장치 (advanced alarm unit) 가 제공됩니다. 이러한 기능은 기계로의 안전성과 안정적인 작동을 향상시킵니다.