판매용 중고 MARCH PX-1000 #293701620

MARCH PX-1000은 대형 기판 처리를 위해 설계된 높은 신뢰성 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 평면 패널 디스플레이, 태양 전지, 반도체 및 MEMS 장치의 생산에 적합합니다. 에처/애셔는 에칭 및 애싱 공정을 위해 수직 플레이트 타입 챔버를 사용합니다. 이를 통해 최대 514mm 크기의 기판의 균일 한 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능하며, 높은 수준의 반복성이 있습니다. 이 장치에는 최대 4 개의 개별 PM 모듈이 장착되어 여러 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 레시피에 필요한 유연성을 제공합니다. MARCH PX 1000은 금속, 폴리 실리콘 및 실리콘의 예금에 대해 매우 낮은 승화율과 높은 에치 선택성을 제공합니다. 에칭 및 애싱을위한 플라즈마 소스에는 최대 4kW의 다중 주파수 RF 생성기가 포함되어 있습니다. 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 는 가공 균일성 및 좋은 에치 프로파일에 필요한 배기 가스 및 생성 된 입자를 제거하는 데 사용됩니다. 챔버에는 회전 (rotational) 또는 선형 (linear) 샘플 처리와 같은 기판 단계 옵션이 있습니다. 기판 온도 를 최대 250 도 까지 유지 하기 위해 전용 기판 "히터 '기계 가 마련 되어 있다. 기판 가열은 시간 기반 온도 제어 또는 가열된 영역 프로파일에서 사용할 수 있습니다. 챔버 내의 온도 균일성은 ± 3òC 이상입니다. 또한 PX-1000은 auto-van launch 및 integrated etch load-lock 시스템과 같은 추가 기능으로 사용자 정의할 수 있습니다. PX 1000은 열적 기계적 안정성이 높은 부품과 재료를 사용하여 구성되며, 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. O2 및 N2 가스 도입 및 산소 저항과 같은 옵션도 제공됩니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 도구는 균일하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 결과가 필요한 생산 응용 프로그램을위한 신뢰할 수있는 작업입니다.