판매용 중고 MARCH PX-1000 #293647792

MARCH PX-1000은 반도체 제조에 사용되는 에칭/애싱 장비입니다. 금속, 중합체, 산화물 및 기타 물질을 빠르게 에칭 및 제거하도록 특별히 설계된 고급 플라즈마 에칭 및 스트리핑 도구입니다. MARCH PX 1000 은 여러 기술과 최적화된 프로세스 매개 변수를 사용하여 높은 처리율을 유지하면서 높은 수준의 결과를 얻을 수 있습니다. PX-1000은 고밀도 플라즈마 에칭 (etching) 및 물리적 스트리핑 (physical stripping) 프로세스를 에칭 시스템에 통합하여 다른 에칭 시스템보다 선택성이 높은 재료를 에칭할 수 있습니다. 또한 최적의 프로세스 제어 (process control) 및 재료 제거 속도를 위해 다양한 에칭 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 통합 컴퓨터 제어 장치를 사용하여 PX 1000은 가스 흐름 속도, 압력, 온도, 압력 비율 등의 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링, 측정 및 조정할 수 있습니다. MARCH PX-1000은 또한 강력한 자동 레시피 제어 기계, 고급 실시간 엔드 포인트 감지 도구, 프로세스 챔버의 수명을 연장하는 데 도움이되는 듀얼 스테이지 플라즈마 클리닝 기능 (dual-stage plasma cleaning capability) 등 다양한 기능을 제공합니다. 여러 개의 챔버 및 싱크 설계를 갖춘 MARCH PX 1000은 최적의 유연성과 프로세스 안정성을 제공합니다. 또한, 고급 진공 자산은 고품질 대기를 유지하고 다양한 진공 수준 (vacuum level) 을 허용합니다. PX-1000은 얇은 금속 및 유전체 층의 웨이퍼 레벨 에칭, 박막 금속 리프트 오프, 금속 표면 모양, 두꺼운 금속, 금속 제거, 트랜지스터의 수동에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. 고급 에칭 및 스트리핑 기능을 갖춘 PX 1000은 오늘날의 많은 최신 반도체 제작 프로세스에 매우 효과적이고 안정적입니다 (영문).