판매용 중고 MARCH PX-1000 #142222

MARCH PX-1000 Etcher/Asher (3 월 PX-1000 Etcher/Asher) 는 플라즈마 파워를 활용하여 다양한 재료를 다양한 수준과 복잡성으로 정확하게 에칭 및 세척하는 현대적인 고급 드라이 에칭 및 애싱 장비입니다. 시스템은 기본 장치, 제어 장치, 자동 전극 컨트롤러 및 쿼츠 에치/애쉬 챔버로 구성됩니다. MARCH PX 1000은 웨이퍼를 처리하고 최대 150mm (6 인치) 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 기판 재료 호환성은 금속에서 도자기, 석영 및 유리에 이르기까지 다양합니다. PX-1000 의 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 다양한 레시피를 제공 할 때마다 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 일반적인 대규모 배치 에칭 프로세스와 일회성 (One-off), 연구 및 개발 스타일 활동을 포괄하는 맞춤형 선택 기능을 제공합니다. 자동 전극 유지 관리 (automatic electrrode maintenance) 가 포함되어 있으며, 기계는 시간이 지남에 따라 전극 침식 및 마모를 자동으로 보상합니다. DR-1000은 1016 Torr (134mBar) 및 91 와트에서 웨이퍼 당 10 초의 처리 시간을 달성 할 수 있으며, 최적 종점에 도달하는 단계가 추가되었습니다. 가스 흐름은 매우 조절 가능하며 최대 4 개의 공정 원자로 가스와 시약/에치 첨가제 및 청소 가스를위한 최대 3 개의 호스로 구성됩니다. 쿼츠 챔버는 여러 개의 초저 누출, RF 고리, 방사선 차폐 및 조정 가능한 PTFE 쇼어 헤드로 설계되었습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 손쉽게 조정할 수 있으며, 처리 과정에서 뛰어난 유연성을 제공하는 구성 요소에 대해 수많은 안전한 마운팅 (mounting) 기회를 제공합니다. PX 1000은 플라즈마 에칭 툴 (plasma etching tool) 에 가장 정밀도가 높아 연구 개발 활동과 생산 스타일 프로세스 (production style process) 에 적합합니다. MARCH PX-1000은 Al, Cu, Cu 합금, Fe 및 SiC를 포함한 다양한 재료에 이상적입니다. 또한 통합 회로, 복합 반도체 장치 및 MEMS 장치와 같은 etch/ash 응용 프로그램에 필요한 유연성을 제공합니다. 3 월 PX 1000은 정확한 반복성과 뛰어난 장기 신뢰성을 제공하는 턴키 에칭 솔루션으로 존재합니다.