판매용 중고 MARCH PM-600 #9139715

MARCH PM-600
제조사
MARCH
모델
PM-600
ID: 9139715
웨이퍼 크기: 6"
Plasma cleaner, 6".
3 월 PM-600 은 매우 효율적인 에칭 및 다양한 기판 노출을 위해 설계된 고정밀 자동 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 이 시스템은 고급 병렬 (parallel) 기술을 사용하여 처리율을 높입니다. 이 장치는 Silicon, GaAs, AlGaAs 및 기타 III-V 재료를 포함한 다양한 기판을 에칭 할 수 있습니다. 이 기계는 큰 8 인치 에칭 영역을 특징으로하여 여러 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 프로세스를 정확하게 보고 검사하기 위한 원격 비디오 옵틱 (Optic) 에셋도 포함되어 있습니다. 에칭 매개변수가 지정된 공차 내에 유지되도록 thevideo optic을 사용자가 조정할 수 있습니다. 이 모델에는 스퍼터링 (sputtering) 과 화학 에칭 (eching) 공정 사이에서 쉽게 전환 할 수있는 2 개의 자유로운 스퍼터링 건이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 노브 (knob) 를 전환할 때 에칭 프로세스를 빠르고 효율적으로 전환할 수 있습니다. PM-600에는 자동 보호 기능도 장착되어 있습니다. 특유의 공기순환 장비로 사용자의 안전성을 보장하고 에칭 (etching) 공정의 무결성 (integrity) 을 보장한다. 시스템에 자동 차단 (Automatic Shutoff) 스위치가 장착되어 있어 작동 중에 장치가 노출된 상태로 남지 않도록 합니다. 이 기계에는 고출력 가변 주파수 RF 생성기가 있습니다. 이렇게 하면 도구가 다양한 RF 주파수를 처리하고 필요한 모든 에칭 (etching) 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 자산은 또한 정교한 자동화 소프트웨어 (automated software) 를 통해 정확한 프로세스를 보장하고 오류 가능성을 최소화합니다. 요약하면, MARCH PM-600은 더 다양한 기판에 이상적인 매우 다재다능하고 정확한 etcher/asher 모델입니다. 이 장비는 안전하고 정확한 에칭 (etching) 프로세스를 위해 정확한 제어 (control) 및 보호 (protection) 기능을 통해 높은 처리율을 제공할 수 있습니다.
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