판매용 중고 MARCH PM-600 #9118779

MARCH PM-600은 산업 생산 및 과학/연구 용도에 이상적인 자급 자족 플라즈마 에처/애셔입니다. 매우 효과적인 플라즈마 에칭/애싱 공정으로, PM-600은 스테인리스 (stainless) 및 비 금속 (non-metal) 기판의 정확하고 빠르고 안전한 에칭/애싱을 위해 설계되었습니다. 이 장비는 3 단계 진공실을 갖추고 있으며, 뛰어난 성능을 위해 저속, 다이렉트 드라이브 로터리 펌프로 구동됩니다. 이 방에는 에칭/애싱 (etching/ashing) 과정 동안 진공 단위 내에서 잔류 오존 오염을 간단하고 정확하게 측정 할 수있는 통합 오존 감지 시스템 (integrated ozone detection system) 이 제공됩니다. MARCH PM-600은 RF 코일 아래에 기판을 정확하게 배치하기 위해 고해상도, 프로그래밍 가능, 조절 가능한 스캐닝 단계를 사용합니다. 이를 통해 균일 성과 반복성으로 기판의 빠르고 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능합니다. 기판에 공급되는 RF 에너지는 가변 전원 공급 장치를 통해 정확하게 제어 할 수 있으며, 다른 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스에 맞게 조정 할 수 있습니다. PM-600 (PM-600) 은 에칭/애싱 가스의 정확한 흐름 속도 및 압력 조정을 가능하게하는 가스 흐름 제어 머신 (gas flow control machine) 을 특징으로하며, 에칭 및 애싱 변수를 포괄적으로 제어 할 수 있습니다. 또한이 도구에는 최적의 프로세스 반복성을 위해 기판을 냉각시키는 냉각 가스 회로 (cooling gas circuit) 가 포함되어 있습니다. 이 에셋은 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 구성 가능한 프로세스 매개 변수 (최대 유연성 및 사용 편의성) 를 제공합니다. 3 월 PM-600 은 산업 및 연구 용도로 설계되었으며, 반도체, 의료, 전자 제품 및 기타 관련 분야에서 사용할 수 있습니다. 안정적인 성능과 견고한 구성으로 PM-600 (PM-600) 은 모든 에칭/애싱 어플리케이션에 완벽한 선택입니다.