판매용 중고 MARCH Plasmod #9234905

MARCH Plasmod는 마이크로 전자 장치 제작 및 재료 증착을 위해 설계된 첨단, 완전 자동화 에처 및 애셔 장비입니다. 고주파 전파를 사용하여 반도체 웨이퍼 (wafer) 또는 기타 기판에 미세 전자 구조를 선택적으로 퇴적하거나 에치합니다. 이 시스템의 독특한 물리적 증기 증착 기법 (physical vapor deposition technique) 은 매우 정밀하고 낮은 온도 프로세스를 제공하며, 다양한 재료 및 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 증착 및 식각 속도가 높은 플라즈마 소스 (Plasma Source) 와 종합적인 현장 결함 모니터링을 제공하는 통합 불꽃 이미지 머신 (Flame Image Machine) 을 갖추고 있습니다. 플라즈모드는 300 ~ 1000 ° C의 광범위한 온도에서 정확하고 반복 가능한 에칭 및 증착 과정을 허용합니다. 고속, 사이클 당 무인 프로세스 (무인 프로세스) 는 완료될 때까지 실행되며 뛰어난 반복성과 제어를 제공합니다. 다양한 재료, 가스 (gase) 를 사용하여 특정 재료, 프로세스 및 환경 요구 사항에 맞게 공구를 조정할 수 있습니다. 또한 복잡한 패턴 및 결함 분석이 가능합니다. 자동화된 자산 (automated asset) 에는 사용자 지정 가능한 프로그래밍이 포함된 통합 소프트웨어 패키지가 포함되어 있으며, 이 패키지는 사용자의 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 실시간 프로세스 제어 모델 (Real-Time Process Control Model) 이 장착되어 있어 일관된 제품 품질을 보장하며 증착이나 에칭 중에 매개변수를 조정하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장비의 디자인은 높은 전도성, 낮은 유전율, 낮은 저항성, 저온 작동 등 재료 증착에 대한 몇 가지 이점을 제공합니다. MARCH Plasmod 의 첨단 '컴퓨터 지원' 설계 소프트웨어를 사용하면 다양한 소재 및 애플리케이션 환경에 적용할 수 있습니다. Plasmod는 마이크로 일렉트로닉 장치 제작 및 높은 정밀도와 반복성이 필요한 다른 응용 프로그램에 이상적입니다. 안정성이 높고, 작동이 용이하며, 안정적이고, 고품질 패턴을 만들 수 있습니다. 자동화된 작동과 빠르고, 정확한 증착 (deposition) 을 통해 귀중한 생산 도구로 입증되었습니다. 유연 시스템 (Flexible System) 은 다양한 기판 및 프로세스를 수용하도록 맞춤형으로 조정할 수 있으며, 신뢰할 수 있는 에칭 및 증착 성능에 대한 업계 표준입니다.