판매용 중고 MARCH Plasmod #9100079

MARCH Plasmod는 반도체 기술 (semiconductor technology) 에서 의료 기구 (medical instruments) 에 이르기까지 광범위한 응용 분야를 위해 고급 재료의 연구 개발을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 애싱 (ashing) 프로세스는 균일한 박막 레이어를 생성하는 데 사용되며, 기판 표면에서 원하지 않는 컴포넌트를 제거하므로 박막 치수와 피쳐 크기를 정확하게 제어할 수 있습니다. 에칭 및 애싱 공정은 온도, 압력, 유속 (flow rate) 을 정확하게 결합한 가스 혼합물을 사용하여 원치 않는 물질을 제거하고 또는 절제합니다. Plasmod의 핵심 구성 요소는 공정 챔버, 프리 샤워, 히터, 가스 소스, 가스 매니 폴드, 냉각 장치 및 솔레노이드 제어 밸브로 구성됩니다. 다목적 에처 (etcher )/애셔 (asher) 의 모듈식 설계를 통해 사용자는 특정 응용 프로그램을 만들 수 있는 다양한 프로세스 옵션 중에서 선택할 수 있습니다. MARCH Plasmod etcher/asher는 온도, 청소 및 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 고급 난방 기술을 갖추고 있습니다. 또한 가변 저항 및 유도 가열 기능이있는 멀티 프로세스 챔버 (multi-process chamber) 와 완전한 프로세스 제어를 위해 4 개의 독립적 인 가스 라인 (gas line) 이 있습니다. 챔버 크기는 0 ~ 3300 SCCM 범위의 선택 가능한 가스 유량으로 최적화되어 소형 배치 (small batch) 또는 대규모 생산 처리에 적합합니다. Plasmod는 건설에 고급 재료를 사용하며 내구성을 극대화하기 위해 부식 내성, 고진공 정격 스테인리스 스틸 인테리어를 갖추고 있습니다. MARCH Plasmod는 또한 사용자 친화적 인 프로그래밍 가능 기능을 사용하여 프로세스 매개 변수를 빠르고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 다양한 응용프로그램을 수용할 수 있는 엔클로즈드 (enclosed) 및 오픈 (open) 유닛 스타일로 제공됩니다. Plasmod 장비는 정확하고, 반복 가능하며, 경제적인 프로세스를 보장하기 위해 다양한 고급 기능을 제공합니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 해싱 프로세스의 복잡한 매개변수를 쉽게 조정하도록 설계되었습니다. 또한 프로세스 제어 자동화, 프로그래밍 가능한 기능, 전체 회로 경보 모니터링 (full circuit alarm monitoring) 기능을 통해 생산성 및 비용 효율성을 높일 수 있습니다. 또한 MARCH Plasmod에는 우발적 노출에서 유해 물질에 대한 사용자를 보호하는 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로, Plasmod etcher/asher는 고급 재료의 연구 및 개발을 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 단위입니다. 모듈식 디자인, 직관적인 사용자 친화적 그래픽 인터페이스, 고급 프로세스 제어, 자동화된 프로세스 제어, 수많은 안전 기능이 특징입니다. 3 월 플라즈모드 (MARCH Plasmod) 는 다양한 응용 분야에 대한 안정적이고 경제적인 에칭 및 애싱 프로세스를 추구하는 사람들에게 이상적인 기계입니다.