판매용 중고 MARCH P-1000 #9184478

3 월 P-1000은 플라즈마 에처/아스퍼 (plasma etcher/asper) 로, 에칭, 이온 밀링 및 기타 관련 프로세스에 반도체 및 전자 산업에 사용되는 기계 유형입니다. 이 기계는 고급 MAGIC (Magnetron-Assisted Gas Injection Chamber) 기술을 기반으로하며, 프로세스 매개변수를 효과적으로 제어하고 플라즈마 로딩을 줄입니다. Touch Screen이 장착된 완전 자동화 머신 (Fully Automated Machine) 으로, 사용자가 프로세스 매개변수를 쉽게 설정하고 제어할 수 있습니다. P-1000은 4 ~ 6 인치 범위의 여러 웨이퍼 크기로 작업 할 수 있으며 공기 또는 비활성 가스 흐름을 제어하기위한 2 개의 가스 노즐 (gas nozzle) 이 장착되어 있습니다. 이것은 플라즈마 프로파일과 스퍼터 속도를 최적화하는 데 도움이됩니다. 이 기계는 또한 원격 플라즈마 생성기 (remote plasma generator) 를 갖추고 있는데, 이를 통해 사용자는 사용 중인 재료 유형에 따라 프로세스를 쉽게 모니터링하고 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 에칭 및 스퍼터링 작업에 강력한 이온을 생성하는 고성능 이온 소스를 특징으로합니다. 강력한 마그네트론은 균일 한 이온 폭격을 만들고 어두운 선 결함의 발생을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 기계는 성능을 더욱 향상시키기 위해 공정 중 비활성 가스 (Inert Gas) 흐름을 제어하고 모니터링하기 위한 독립적인 고해상도 가스 밸브 (Gas Valve) 시스템을 갖추고 있다. 또한, 기계는 압력, 온도, RF 전원 등과 같은 여러 프로그래밍 가능한 사용자 정의 매개변수를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 etch 프로세스를 자신의 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 3 월 P-1000 머신은 효율성이 높고 안정적이며, 다운타임이 최소화되어 장기간 운영될 수 있습니다. 안전 제한 (Safety Limit) 을 초과하면 기계의 기능을 차단하여 운영자의 안전을 보장합니다. 이 기계는 또한 초기 발견 및 장애 예방을 돕는 자체 모니터링 (self-monitoring) 프로그램을 갖추고 있습니다. 이러한 강력한 기능을 통해 P-1000은 반도체 업계에서 에칭 (etching) 및 스퍼터링 (sputtering) 애플리케이션을 위한 최상의 선택이 됩니다.