판매용 중고 MARCH / LKT FlexTRAK #9396547

MARCH/LKT FlexTRAK은 LKT Instruments의 혁신적인 에처/애셔 장치입니다. 이 견고하고 안정적인 장비는 사용자가 마이크로 일렉트로닉스, 고급 반도체 패키징 및 MEMS 제작에서 다양한 에칭 프로세스를 제공합니다. LKT FlexTRAK 장치는 특허 받은 업계 최고의 멀티 스텝 에칭 프로세스를 통해 사이클 시간을 줄여 구리, 알루미나, 실리콘, 유리, 기타 섬세한 기판 등 다양한 재료의 처리량 및 생산량을 높일 수 있습니다. 3 월 FlexTRAK 의 고급 기능에는 프로세스 성능 향상을 위한 멀티 가스 혼합, 최대 에칭 효율성을 위한 이중 배기 포트, 공간 절약형 편의성을 위한 로우 프로파일 (LP) 디자인이 포함됩니다. 4.7 인치 LCD 컬러 터치스크린은 사용자 친화적이며, 상태 및 경보 표시를 그래픽으로 표시합니다. 이 장치는 최대 8 개의 프로세스 모듈을 확장할 수 있는 기능으로 구성이 가능합니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 작업을 사용자 정의하여 고유한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 FlexTRAK 는 프로세스 작업을 기록하고 추적하는 감사 기능, 긴급 중지 버튼 (Emergency Stop Button), 향상된 차폐 (Shielding) 를 비롯한 다양한 유용한 안전 (Safety) 기능을 제공하여 예상치 못한 모든 플라즈마 활동을 보호합니다. MARCH/LKT FlexTRAK 는 여러 시장 및 업계의 다양한 고급 에칭 애플리케이션에서 탁월한 성능을 제공합니다. 반도체 제작에 사용되는 Si, SiGe, GaAs, GaN 및 기타 고품질 재료를 포함한 다양한 재료에 적합합니다. LKT FlexTRAK 의 특징은 고효율 구성 요소, 손쉬운 유지 보수, 신뢰할 수 있는 네트워크입니다. MARCH Instruments는 고객에게 최고의 품질의 etcher/asher를 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 업계 최고의 보증과 다양한 고급 기능으로 구성된 3 월 플렉스트랙 (MARCH FlexTRAK) 은 고객의 탁월한 성능을 보장하고 섬세한 기판을 제작합니다 (영문). 검증된 안정성과 다용성을 갖춘 FlexTRAK 는 사용자에게 탁월한 에칭 (etching) 프로세스 결과와 처리량을 제공합니다.