판매용 중고 MARCH INSTRUMENTS PX 1000 #9156928

MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000은 고정밀 에칭 및 언더컷팅 특성으로 기판 기판을 생산할 수 있도록 설계된 etcher/asher 시스템입니다. PX 1000은 에칭 (etching) 프로세스에 대한 정확한 제어 기능과 더 작은 기판을 더 큰 크기로 가져올 수있는 유연성 때문에 반도체, 디스플레이 및 MEMS 응용 프로그램에 적합합니다. MARCH INSTRUMENTS PX 1000은 LAM 또는 레이저 절제 머시닝을 사용합니다. PX 1000은 레이저 빔과 제어되지만 조절 가능한 기판 스테이지로 구성됩니다. 이를 통해 에칭 (etching) 프로세스를 정확하게 완료할 수 있으며, 청구 처리 속도는 시간당 최대 10,000 웨이퍼입니다. MARCH INSTRUMENTS PX 1000은 S 기판 버전과 T 기판 버전의 두 가지 모델로 제공됩니다. S 기판 버전은 350 um ~ 8mm 범위의 기판을 반입하도록 설계되었으며 T 기판 버전은 350 um ~ 4mm 사이의 작은 기판을 위해 설계되었습니다. PX 1000 에는 웨이퍼 에지 (Wafer Edge) 포지셔닝 기술이 적용되어 중앙에 대한 웨이퍼의 정확한 포지셔닝이 가능합니다. 이것은 정확한 에칭을 제공하며, 최적의 각도 정렬로 웨이퍼를 자를 수 있습니다. MARCH INSTRUMENTS PX 1000에는 제한된 영역 내에서 활과 기울기를 5 미크론으로 정확하게 보상하는 활성 기판 레벨 링 기능도 있습니다. PX 1000은 각도 에칭 공차를 1도 미만으로 높게 (high photolithography) 정확도를 제공할 수 있습니다. 웨이퍼 스테이지의 열 조절도 정확하며, 온도 범위는 15 ~ 25 셀시우스입니다. MARCH INSTRUMENTS PX 1000은 석영 및 유리 기판을 모두 가져올 수 있으며 100% 청소 실과 호환됩니다. EMC 및 CE 표준과 같은 업계 표준을 준수하고, RoHS 등의 환경 요구 사항도 준수합니다. PX 1000 은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하며, 운영자가 시스템의 상태를 모니터링하고 필요한 유지 관리를 결정할 수 있도록 하는 진단 (diagnostics) 을 포함합니다. 이 시스템에는 프로세스 제어를 유지하는 온보드 도량형 소프트웨어 (Wafer 모니터링 소프트웨어) 가 제공됩니다. MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000은 정확성과 성능을 염두에두고 설계된 에처/애셔 시스템입니다. 높은 포토 리토 그래피 정확도, 정확한 열 제어 및 웨이퍼 에지 포지셔닝 기능을 제공합니다. 또한, 이 제품은 사용하기 쉽고, 업계 표준을 충족하여 다양한 반도체, 디스플레이, MEMS 애플리케이션에 적합합니다.