판매용 중고 MARCH INSTRUMENTS PX 1000 #9146117

MARCH INSTRUMENTS PX 1000은 반도체 산업의 다양한 응용 분야를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 완전 자동화 플랫폼 (Fully Automated Platform) 을 기반으로 하며, 다양한 요구 사항과 구성에 맞게 조정할 수 있습니다. 거기 에는 금속, 중합체, 유전체 와 같은 여러 가지 물질 을 "에치 '하는 데 이상적 인 선택 을 할 수 있는 여러 가지 기능 이 있다. PX 1000은 두 부분으로 구성된 시스템입니다. 첫 번째 부분은 프로세스 챔버 (process chamber) 이고 두 번째 부분은 연결 상자 (connection box) 입니다. 공정 "스틸 '은" 스테인레스' 로 만들어져 있으며 "에친트 '관류 에 사용 되며, 연결 상자 에는 장비 를 제어 하는 데 필요 한 전자 제품 및 기타 부품 들 이 들어 있다. 이 장비는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 에 대한 수동 액세스 포트를 가지고 있으며 챔버 대피를위한 진공 장치를 포함합니다. 기계 에는 또한 "가스 '가열 장치 가 들어 있는데, 이것 은 약실 내부 의 온도 를 조절 하는 데 도움 이 된다. MARCH INSTRUMENTS PX 1000에는 4축 조작 장치가 장착되어 있어 모든 방향으로 조각을 이동할 수 있습니다. 이 기능은 절단, 드릴링, 에칭 프로세스의 효율성 및 유연성을 극대화합니다. 또한, 이중 나란히 관류 판이 있으며, 이는 동시 및 동시 역전 에칭을 모두 가능하게합니다. 또한, 이중 측면 매니 폴드 도구는 습식 에칭에서 건식 에칭으로 쉽게 전환합니다. PX 1000의 제어 자산은 쉽고, 안정적이며, 반복 가능한 에칭 조건을 제공하도록 설계되었습니다. 온도, 압력, 가스 유형, 지체 시간, 웨이퍼 속도, 에칭 깊이 등의 다양한 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 MARCH INSTRUMENTS PX 1000은 최첨단 모니터링 및 진단 모델도 제공합니다. 이 장비를 사용하면 프로세스 데이터를 실시간으로 볼 수 있으며, 장애 감지 (fault detection) 및 경보 (alarm) 기능을 제공하여 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. PX 1000은 가장 까다로운 반도체 어플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 광범위한 기능을 갖춘 이 시스템은 다양한 에칭 프로세스 (etching process) 에 대해 정확한 제어 및 안정적인 작동을 제공합니다. 최첨단 제어 장치를 사용하면 프로세스 매개변수를 빠르게 조정하고 반복 가능하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 더욱이, 이 기계는 설치와 작동이 용이하여, 많은 응용 프로그램에 이상적인 제품입니다.