판매용 중고 MARCH INSTRUMENTS Plasmod #9236960

ID: 9236960
Etcher ENI ACG 5XL RF Generator.
MARCH INSTRUMENTS Plasmod는 프로세스 내 통합에 이상적인 완전 자동화 etcher/asher입니다. 최첨단 플라즈마 기술을 통해 고품질 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 전체 "장비 '는 밀봉 장치 안 으로 밀폐 되어 추가 안전 조치 가 필요 치 않다. 간편한 작동이 가능하며, 편리한 터치스크린 사용자 친화적 인터페이스를 제공합니다. Plasmod는 매우 다재다능하며 최적의 프로세스 운영을 위해 여러 구성을 포함합니다. 에처는 비정질 및 폴리 실리콘을 포함한 다양한 재료에 대한 고해상도 에칭을 제공합니다. 이 다양성을 통해 모든 종류의 응용 프로그램에 대한 복잡한 패턴과 구조를 만들 수 있습니다. 애셔 (Asher) 는 모든 기본 입자를 보존하면서 탄소 및 포토 esist의 잔여 필름을 빠르게 제거하기위한 빠른 애싱 사이클 (ashing cycle) 을 제공한다. 또한 모든 프로세스 설정과 매개변수를 기록하는 프로세스 모니터링 장치 (process monitoring unit) 도 포함되어 있습니다. 그런 다음, 수집된 데이터를 사용하여 에칭 또는 애싱 프로세스를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 리모콘 머신을 사용하면 다른 장비에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한, MARCH INSTRUMENTS Plasmod는 데이터 전송 및 원격 프로세스 모니터링을 위해 PC에 연결할 수 있습니다. 이 공구에는 건조, 에칭 및 애싱 (ashing) 공정을 위해 내장 가스 입구가 장착되어 있으며, 편의를 위해 교환 가능한 가스 라인이 제공됩니다. 내부 히터는 공정 중에 가스의 적절한 안정화를 보장합니다. 또한, 가스 라인에는 사고를 예방하기위한 안전 밸브가 포함되어 있습니다. 또한, Plasmod는 전용 여과 자산으로 오염 입자를 최소화하도록 설계되었습니다. 이 모델은 내장 된 고품질 차동 펌핑 장비를 사용하여 에칭 챔버 (etching chamber) 에서 오염 물질과 입자를 추출합니다. 이로 인해 미립자가 최소화되어 표면이 매우 깨끗해져 우수한 필름 전송과 향상된 수율 (yield) 이 가능합니다. MARCH INSTRUMENTS Plasmod는 유지 보수 요구 사항을 최소화하면서 수년 동안 구축 된 믿을 수 없을 정도로 안정적인 시스템입니다. 사용이 간편한 터치스크린 인터페이스와 간단한 설치 기능을 갖춘 Plasmod 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 다양한 설정, 포괄적인 프로세스 모니터링, 제품 생산성 향상을 위한 깔끔한 결과 등을 제공합니다.
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